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LuphoScan高速光學(xué)非球面3D測量系統(tǒng)

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LuphoScan高速光學(xué)非球面3D測量系統(tǒng)LuphoScan260/420HD測量臺開創(chuàng)了光學(xué)表面高精密計量的新領(lǐng)域完善好,能夠測量物件角度大至90度,測量精度高于50nm(3)

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LuphoScan高速光學(xué)非球面3D測量系統(tǒng)
LuphoScan 260/420 HD測量臺開創(chuàng)了光學(xué)表面高精密計量的新領(lǐng)域可能性更大,能夠測量物件角度大至90°度,測量精度高于±50 nm (3σ) 搖籃。測量結(jié)果有著的重復(fù)性且低噪音技術。
可測量坡度的表面、具有不同間距方向的表面標準、極小的表面例如手機鏡頭模具示範推廣。快速的即將展開、值得信賴的非球面表面非接觸式三維形狀測量大幅增加。
物件坡度高至90°度,是測量大的傳承、陡峭的和極小的非球面鏡頭(如手機鏡頭模具)的理想選擇等特點。
Power和PV測定參數(shù)的穩(wěn)定性。

型號 LuphScan120 LuphScan260 LuphScan420
測量直徑 Φ120mm Φ260mm Φ420mm
表面形狀 球面多種、非球面將進一步、平面、自由曲面
縱向分辨率 0.1nm
精度 50nm 250nm 1μmmiu
特點 LuphoScan基于多波長干涉技術(shù)(MWLI)的干涉掃描系統(tǒng)發展成就,專為旋轉(zhuǎn)對稱的超精密非接觸3D形狀測量而設(shè)計成就。四個精密工作臺保證靈活精密測量
應(yīng)用范圍 各種透鏡,超精密旋轉(zhuǎn)體研磨表面工件等

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