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D3000紫外氘燈光源

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光源產(chǎn)生穩(wěn)定的160-400nm的輸出光譜長期間。其峰-峰穩(wěn)定性小于0.005%基本情況,

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光源產(chǎn)生穩(wěn)定的160-400nm的輸出光譜。其峰-峰穩(wěn)定性小于0.005%高端化,
漂移僅為+/-0.5%每小時(shí)力量。
 

主要特點(diǎn):
深紫外覆蓋。覆蓋范圍是160-400nm提單產。
深入實施。峰-峰穩(wěn)定性小于0.005%的超級穩(wěn)定光源輸出。
 
主要應(yīng)用:
半導(dǎo)體檢測精準調控、薄膜厚度測量功能、靜電去除器應用的因素之一、光譜學(xué)、環(huán)境計(jì)量預期、
光學(xué)元件檢測敢於監督、材料抗紫外性測試和激發(fā)光源等。
光學(xué)系統(tǒng):
 

光譜數(shù)據(jù):
 
光譜曲線1(MgF2窗口)
 
光譜曲線2(硅結構、紫外玻璃)

 
光穩(wěn)定性
技術(shù)參數(shù):
功率:  830 mA @ 230 VDC
波長范圍:  190-400 nm (深紫外燈)
峰-峰穩(wěn)定性:  <0.005% at 230 nm
漂移:  +/-0.5% per hour at 230 nm
40 分鐘
電壓和電流:  Ignition 350V/20 A operating 85 V/0.3A
燈泡壽命:  1,000 小時(shí)
工作溫度:  5 ℃ - 35 ℃
濕度:  5-95%無冷凝 40 ℃
輻射特性:  0.5mm縫更合理,數(shù)字狹縫26度(13度)


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