尼康旗下的NIKON INSTECH公司（總部：東京）將推出高度分辨率達到1pm的光干涉顯微鏡系統(tǒng)“BW-M7000”（圖1）系統。該系統(tǒng)可高速高精度測定高度范圍從亞納米級到毫米級的表面性狀（材料表面圖案及粗糙度增強、表面上的微小落差等）。

表面性狀測定采用尼康自主開發(fā)的方式——“FVWLI（Focus Variation with White Light Interferometry）法”交流等。該方法可使對象材料的表面生成干涉紋更加廣闊，高精度決定各像素的焦點位置。通過使用這種方式提高，可在2.5倍（視野4.4×4.4mm）至100倍（視野111.0×110.0μm）的所有倍率下實現(xiàn)三維算數(shù)平均高度（Sa）為0.1nm級別的表面性狀評估可以使用。能夠以單一模式測定超平滑表面到粗糙表面，無需更換光學濾光片等部件紮實。另外效高化，在測定膜厚時使用光譜干涉法。能以不到0.1秒的時間測定厚度為1nm～40μm的透明薄膜的厚度投入力度。

可通過程序控制手段實現(xiàn)全自動測定創造，能夠自動實施對焦、調(diào)整樣品的傾斜貢獻法治、判斷是否合格等操作設備製造。可自動測定多個視野攻堅克難，除了材料研發(fā)一線之外管理，還可輕松用于品質(zhì)管理及現(xiàn)場。

該顯微鏡配備行程為300×300mm的電動XY軸載物臺流程，以及行程為200mm的電動Z軸變焦載物臺合作。可測定半導體、LED一站式服務、薄膜材料廣度和深度、高分子材料、精密機械加工部件等多種樣品（圖2引領作用、圖3）。在測定鉆頭的表面形狀時臺上與臺下，可用夾具保持其直立固定狀態(tài)用的舒心。