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返回產品中心>本設備采用新進的光學設計緊密相關,保證了高質量的邊緣檢測和顯微檢測更默契了。在直線校準中,采用夾線和叉線進行觀測培訓,比單純使用一個直線進行觀測所獲得的結果更為精確順滑地配合。
MT-400AH工具金相顯微鏡是蘇州卡斯圖電子有限公司根據半導體客戶研發(fā)的一款高精度測量設備。使測量物體精確的對準樣品邊緣是至關重要的效高,本設備采用新進的光學設計前沿技術,保證了高質量的邊緣檢測和顯微檢測。在直線校準中性能,采用夾線和叉線進行觀測多種方式,比單純使用一個直線進行觀測所獲得的結果更為精確對外開放。在主機設計方面,我們致力于增強它與操作人員之間的親和性以及操作的舒適性體系流動性。此外探索創新,我們還采用了抗疲勞設計,操作人員即使長時間使用實現了超越,也不會感到疲勞和不適新產品。新近研發(fā)的FA照明器具有分光棱鏡輔助對焦功能,可提供更銳利的圖案橋梁作用¢L遠所需?稍赯軸測量期間提供精確對焦,由于不同物鏡焦深差異導致的測量誤差被降至讓人糾結。兩側均配備了同軸粗/微調手輪規模,以速度實現(xiàn)對焦,儀器內置高精度光柵尺基石之一,可進行精確的3軸測量聯動。
特征及優(yōu)勢
■ 配置完善,測量精準
■ 平臺可快速移動共同努力,方便大尺寸產品測量
■ 符合人體設計的光學觀察
■ 測量數值實時顯示
■ 主機臺快速測量行業內卷,電腦端同步展示
■ 便捷強大的測量分析軟件
■ 可選配晶圓臺
■ 校準和線性檢測
■ 包含獨立儀器桌、臺式電腦逐漸完善、鍵盤能力和水平、鼠標和 22英寸的顯示器
■ 標準尺
儀 器 型 號 | MT-300AH | MT-400AH | MT-500AH | ||||
工 作 臺 | 鑄鐵臺尺寸(mm) | 356×266 | 487×367 | 606×476 | |||
玻璃臺尺寸(mm) | 260×160 | 345×245 | 445×345 | ||||
運動行程(mm) | 200(X)×150(Y) | 300(X)×200(Y) | 400(X)×300(Y) | ||||
調焦行程(mm) | 100 | 100 | 150 | ||||
放大倍數與攝像系統(tǒng) | 500萬像素工業(yè)相機,可拍照可測量 | ||||||
物鏡5X異常狀況,10X研究,20X,50X (100選配) 目鏡:10X/20 | |||||||
X軸/Y軸顯示精度:0.0001mm Z軸顯示精度:0.0001MM | |||||||
總放大倍數50X-500X | |||||||
示值誤差 | X.Y≤(2.5+L/200)um | Z≤(3.5+L/50)um(L為被測長度單位:mm) | |||||
照明系統(tǒng) | LED環(huán)形表面光+底部平行光 | ||||||
外形尺寸(mm) (長×寬×高) | 600×550×780 | 760×580×820 | 970×750×1000 | ||||
承重 | 20kg | 20kg | 25kg | ||||
儀器重量(kg) | 150kg | 170kg | 200kg | ||||
儀器電源 | 220V(AC) 50HZ |
由于微觀結構檢測趨于細微化應用創新,不僅要滿足觀察和測量這一生產和質量管理原則提高,而且測量顯微鏡同時對其精度要求也越來越高
人體工程設計
在顯微鏡主機設計方面,我們致力于增強它與操作人員之間的親和力以及操作的舒適性的特性。其儀器設計十分便于操作交流。此外,它還采用了抗體疲勞設計提供堅實支撐,操作人員及時長時間使用還不大,也不會感到疲勞和不適。
輔助對焦
新近研發(fā)的FA照明器具有分光棱鏡輔助對焦功能信息化技術,可提供更銳利的圖案發揮作用。可在Z軸測量期間提供精確對焦,由于不同物鏡焦深差異導致的測量誤差被降至發揮。
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