Park NX-Wafer 為在線晶圓廠計量提供高生產(chǎn)率和強大特性高吞吐量晶圓廠檢測和分析溝設槽備寬前度端、模深塊度（E和F角EM度）測用量于的自自動動晶數(shù)圓據(jù)傳采送集和分析

為在線晶圓廠計量提供高生產(chǎn)率和強大特性

高吞吐量晶圓廠檢測和分析

溝設槽備寬前度端大幅增加、模深塊度（E和F角EM度）測用量于的自自動動晶數(shù)圓據(jù)傳采送集和分析

精確的亞埃級表面粗糙度控制

真界實最非低接噪觸音模低式至使0得.5參A數(shù)rm相S關·遍結布果整具個有晶免圓疫區(qū)性域 保比持其探他針AF針M有尖1的0銳倍度-20以倍達的到更表長面的粗探糙針度壽精命度

全自動化高吞吐量缺陷成像

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詳情：

Park AFM NX-Wafer Brochure-中文.pdf