超高真空薄膜X射線譜學系統(tǒng)，可以在超高真空條件下開展薄膜相關的掠入射X射線譜學實驗系列。該系統(tǒng)配備有樣品中轉存放臺作用，樣品可以在不暴露大氣的情況下，利用真空手提箱或者真空進樣腔室傳遞到樣品中轉存放臺上空間載體。在測試室對薄膜樣品進行掠入射硬X射線吸收/衍射/散射信號的測量高質量。該系統(tǒng)配置一個高精度6自由度并聯位移平臺，可帶動整個腔體相對X射線光束線的精密位置調整重要組成部分。

六自由度并聯平臺參數

運 動 維 度 ：X流程、Y、Z勃勃生機、α助力各業、β、Ψ

X提供有力支撐、Y 行程 ：±8mm應用、±8mm
Z 行程 ：±9mm
α、β行程 ：±3°
Ψ 行程 ：±5°
推進設備分辨率：1μm
X品率、Y運動精度：5μm
Z運動精度：3μm
X相貫通、Y重復運動精度：3μm
Z重復運動精度：2μm
α、β運動精度：0.069mrad
X積極影響、Y移動速度：1mm/s
Z移動速度：2mm/s
負載（水平）：100Kg
斷電保持力：20Kg
質量：10.5Kg
尺寸（直徑*高度）：390*310mm

特點

· 超高真空實驗環(huán)境

· 樣品變溫測試環(huán)境（300K~1000K）

· XAFS實驗（TEY全電子產額模式和PFY熒光產額模式可同時進行）

· GIXRD掠入射衍射實驗

· 超高真空條件下樣品傳遞

真空度

樣品切光曲線