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返回產(chǎn)品中心>納米尺度3D光學(xué)干涉測量系統(tǒng)VS1800應(yīng)用光干涉現(xiàn)象，對微細(xì)的表面形貌進行測量特點，可實現(xiàn)高性能薄膜深刻變革、半導(dǎo)體、汽車零配件和諧共生、顯示器等行業(yè)所要求的高精度測量質生產力。而且還能以無損傷方式進行多層膜的層結(jié)構(gòu)以及層內(nèi)部的異物測量。
納米尺度3D光學(xué)干涉測量系統(tǒng)VS1800應(yīng)用光干涉現(xiàn)象技術交流，對微細(xì)的表面形貌進行測量先進的解決方案，可實現(xiàn)高性能薄膜、半導(dǎo)體創造更多、汽車零配件宣講活動、顯示器等行業(yè)所要求的高精度測量。而且還能以無損傷方式進行多層膜的層結(jié)構(gòu)以及層內(nèi)部的異物測量工藝技術。
隨著材料不斷趨向平坦化、薄膜化及結(jié)構(gòu)的微細(xì)化損耗，人們開始要求比傳統(tǒng)的普通SPM（掃描探針顯微鏡）講故事、觸針式粗糙度測量儀及激光顯微鏡等產(chǎn)品更高的測量精度非常完善。相比較利用光干涉原理的白光干涉掃描顯微鏡總之，納米尺度3D光學(xué)干涉測量系統(tǒng)VS1800，使用更方便支撐作用，測量精度跟高研學體驗，測量范圍更大。此外最為突出，傳統(tǒng)的采用線粗的測量方式仍存在“測量位置導(dǎo)致的結(jié)果偏差”和“掃描方向?qū)е碌慕Y(jié)果偏差”等重大課題落實落細。VS1800的解決對策是通過參照國際標(biāo)準(zhǔn)ISO25178規(guī)定的表面形貌評估方法來計算參數(shù)，建立測量表面形貌的新標(biāo)準(zhǔn)高效化，從而受到了各界的關(guān)注製高點項目。
原子力顯微鏡的納米尺度3D探針測量系統(tǒng)AFM5500M同樣可實現(xiàn)高度的分辨率為0.1nm以下為產業發展，與此相比，納米尺度3D光學(xué)干涉測量系統(tǒng)VS1800的一大特點在于面內(nèi)方向的測量范圍更大有所增加。發(fā)揮兩種測量系統(tǒng)各自的優(yōu)點各項要求，根據(jù)需求選擇的測量系統(tǒng)有利于生產(chǎn)率的提高。
Wafer研磨表面形貌（表面粗糙度Sa 0.58 nm）
| 機型 | Type 1 | Type 2 | Type 3 | |
|---|---|---|---|---|
| Z軸 | 馬達驅(qū)動 | 標(biāo)配（Z軸移動范圍～10㎜） | ||
| PZT驅(qū)動 | 新增選配（Z軸移動范圍～150 μm） | |||
| XY樣品臺 | 驅(qū)動方式 | 手動 | 電動 | |
| 移動范圍 | ± 50 mm | ± 75 mm | ||
| 樣品臺尺寸 | W205 × D150 mm | W225 × D225 mm | ||
| 測角臺 | 驅(qū)動方式 | 手動 | 電動 | |
| 移動范圍 | ± 2° | ± 5° | ||
| 測量相機 | 標(biāo)準(zhǔn)相機或高像素相機 | |||
| 鏡筒 | × 1或 × 0.5 | |||
| 變焦透鏡 | × 0.7透鏡（新增選配） | |||
| 物鏡 | × 2.5 × 5 × 10 × 20 × 50 × 110 | |||
| 樣品高度 | 標(biāo)準(zhǔn) | 0～50 mm | ||
| 使用加高配件時 | 50～100 mm | 0～100 mm | ||
| 電腦OS | Windows 10 | |||
| 減震臺（帶支架） | 被動式或主動式 | |||
| 標(biāo)配 | 新增選配 | |
|---|---|---|
| 測量軟件 | 表面形貌測量 | 大傾斜角測量 |
| 分析軟件 | ISO參數(shù)（參照ISO25178） 輪廓分析體系、頻帶分解 負(fù)荷曲線分析、顆粒分析 熱歐姆轉(zhuǎn)換開展試點、線段分析 | 界面分析攜手共進、層面分析 截面面積、線測量 |
在材料推進一步，加工行業(yè)廣泛經(jīng)營的紙質(zhì)產(chǎn)品及樹脂產(chǎn)品經過，為滿足所要求的功能，均作了各種各樣的研究力度。因此明確了方向，表面形貌及表面粗糙度的測量在質(zhì)量管理方面起著關(guān)鍵作用。此外勇探新路，當(dāng)多層膜等產(chǎn)品出現(xiàn)不良時單產提升，需要查明表面、界面或?qū)觾?nèi)哪個部位出現(xiàn)問題試驗，并且很多情況下根據(jù)不同樣品勞動精神，還要求進行無損傷測量。
下面介紹材料加工行業(yè)中使用納米尺度3D光學(xué)干涉測量系統(tǒng)VS1800進行各種測量的實例製度保障。
顯示器用薄膜的表面作了各種加工動手能力，以保持防反射、防止指紋造成的污染等功能性意見征詢。VS1800不僅針對平滑的薄膜表面提升，對于像亞光膜表面那樣凹凸不平的樣品，也能以較高的重現(xiàn)性進行測量的必然要求。 
顆粒填料用于改善表面的防眩性研究成果，以及控制與其他表面粘合的性能，其形狀完善好、大小及密度等的測量是的項目大面積。VS1800不僅可以觀察形狀，還能利用大小及數(shù)量等的分析功能進行評估部署安排。 
包裝膜通過層壓具有阻隔性等功能的材料層搖籃，防止內(nèi)裝物劣化技術。因此推廣開來，比如了解該材料層的膜厚是否可以表現(xiàn)其功能等，對材料各層的膜厚管理非常重要。VS1800不僅可以評估表面粗糙度資源配置，還能以無損傷方式顯現(xiàn)層內(nèi)部的結(jié)構(gòu)信息，評估各層的厚度及厚度不均勻程度，因此有助于包裝膜的質(zhì)量管理大力發展。
測量實例1 
測量實例2 
無論表面是什么材質(zhì)豐富內涵，VS1800都能以較高的分辨率測量高度，對于如高分子材料之類透明薄膜的高差等也能進行高精度測量產能提升。 此外適應性，關(guān)于VS1800的界面分析，對于透明材料多層層壓時發(fā)生的氣泡不良等現(xiàn)象通過活化，能以無損傷方式進行評估落地生根，因此無需制作截面，即可確認(rèn)哪個層發(fā)生了異常健康發展。
測量實例1 玻璃基板上高分子膜的高差 
測量實例2 膠帶粘貼面 
VS1800具有發(fā)揮高速有效保障、高分辨率功能的“標(biāo)準(zhǔn)測量模式”，以及可測量光反射微弱的斜面之“大傾斜角測量模式”長效機製，除了像光面紙之類的平滑表面講實踐，還能對名片表面等粗糙的纖維材質(zhì)表面進行測量，測量范圍廣泛奮戰不懈。
測量實例1 光面紙 
測量實例2 名片印刷面 
多層膜的表面或背面、甚至內(nèi)部都很可能會發(fā)生各種不良現(xiàn)象取得顯著成效。要弄清不良原因高效利用，為了保持發(fā)生異常時的狀態(tài)，必須實施無損傷測量估算。 納米尺度3D光學(xué)干涉測量系統(tǒng)VS1800采用無損傷非接觸測量方式講理論，實現(xiàn)了高度分辨率優(yōu)異的表面形貌及膜厚測量，下面介紹使用測量系統(tǒng)VS1800測量薄膜異常部位的相關(guān)實例不要畏懼。
使用納米尺度3D光學(xué)干涉測量系統(tǒng)VS1800進行測量服務為一體，能夠發(fā)現(xiàn)異常部位的線形凹陷（a），并測量出其寬度及深度（b）逐漸顯現。
此外全會精神，VS1800能以無損傷方式進行界面分析。
觀察界面分析結(jié)果（c）拓展基地，可確認(rèn)到與樣品結(jié)構(gòu)（e）一樣在深度方向有4條水平線集中展示。尤其可以看到中間薄層②的厚度分布出現(xiàn)不均勻現(xiàn)象。亮點（d）為層②的不均勻部分體系流動性，此處的干涉強度變化顯著探索創新，可推斷是氣泡。
使用納米尺度3D光學(xué)干涉測量系統(tǒng)VS1800進行測量，能夠確認(rèn)到異物混入部位呈山形隆起新產品，并測量出其寬度及高度去完善。(b)(c)
從界面無損傷分析的結(jié)果（c）可以看出，層②的厚度分布存在不均勻現(xiàn)象長遠所需，主要在表面的凸起異常部位出現(xiàn)大幅度隆起求索。
而且在有隆起部位的層②及層③的界面上，可以確認(rèn)到干涉間斷的區(qū)域規模。從該干涉間斷可以推斷混入的異物阻擋了光線穩定發展。
隨著各種電子零配件實現(xiàn)微細(xì)化，電鍍越來越趨向薄膜化聯動。在電鍍的質(zhì)量管理方面能力建設，要求采用更精確、更精密的分析方法生產體系。 掃描探針顯微鏡具有Z軸分辨率較高的特點服務，而另一方面觀察范圍被限制得很窄數據顯示。此外資源優勢，使用普通的光學(xué)觀察儀器可以進行更大視野范圍的觀察，但是Z軸分辨率會降低充分發揮。
納米尺度3D光學(xué)干涉測量系統(tǒng)VS1800兼具面內(nèi)方向的大觀察視野及高度方向的高分辨率兩大特點國際要求，因此對于像電鍍線之類較大的高差形狀及其表面粗糙度流動性，均可進行簡單方便的測量。
根據(jù)不同的用途及目的競爭激烈，電鍍表面可能會施加表面處理持續創新，一般的表面觀察方法有SEM觀察。
通過SEM圖像空白區，能夠清楚地顯現(xiàn)出表面性狀的不同協調機製，一般SEM所獲信息屬于二維圖像，因此很難高精度測量立體特征形勢。
關(guān)于在電鍍Ni表面施加了粗化處理的樣品實踐者，使用FlexSEM 1000（SEM）以及AFM5500 M（AFM）、VS1800（納米尺度3D光學(xué)干涉測量系統(tǒng)/CSI）進行觀察及測量所得結(jié)果如圖所示約定管轄。
對比FlexSEM 1000/AFM5500 M的觀察及測量結(jié)果數據，可了解到SEM觀察的形狀在AFM測量結(jié)果中也能看到同樣的捕捉信息。此外發揮，還可看出AFM與CSI的算術(shù)平均粗糙度Sa顯示幾乎相同的數(shù)值顯著，納米尺度3D光學(xué)干涉測量系統(tǒng)可同樣測量出AFM所捕捉的微細(xì)形狀。由此可知開放以來，如果使用具有高空間分辨率的AFM占，則可以交叉檢查CSI數(shù)據(jù)高質量。納米尺度3D光學(xué)干涉測量系統(tǒng)發(fā)揮高速測量的優(yōu)點，有利于提高多個樣品的測量速度動手能力，另外如前所述逐步改善，通過增加用SEM及AFM進行觀察和測量意見征詢，可實現(xiàn)多方面評估提升。
件的低磨損性需求，要求進行更精確的必然要求、更精密的摩檫學(xué)性能評估研究成果。納米尺度3D光學(xué)干涉測量系統(tǒng)VS1800可以采用單次自動對焦，在大范圍區(qū)域?qū)崿F(xiàn)納米尺度的粗糙度測量完善好。在摩檫學(xué)性能評估中大面積，根據(jù)三維測量結(jié)果進行負(fù)荷曲線分析，從而可以計算出磨損量（面積以及體積）活動上，由此可實現(xiàn)定量評估有望。
下面介紹將新油和劣化油用于金屬滑動試驗的測試結(jié)果。
圖1和圖2分別是使用新油和劣化油的情況下測量滑動痕形貌的結(jié)果導向作用。比較各圖的滑動部位表面形貌及截面圖方案，可以看到使用劣化油時的滑動痕深度大約是使用新油時的6倍，滑動方向上出現(xiàn)了明顯的條紋狀削痕十大行動。
圖1 使用新油時的形貌測量結(jié)果 
圖2 使用劣化油時的形貌測量結(jié)果 
然后進行負(fù)荷曲線分析左右。進行分析時，針對因磨損而被削掉的區(qū)域綜合措施，可使用高度閾值對等高線圖像進行二值化處理可靠保障，計算出面積以及體積，并可定量評估磨損量設計標準。
圖3 使用新油時的負(fù)荷曲線分析結(jié)果 
圖4 使用劣化油時的負(fù)荷曲線分析結(jié)果 
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