產(chǎn)品型號(hào)

4″高真空RTP爐OTF-1200X-4-RTP-HV

本設(shè)備要求在海拔1000m以下簡單化，溫度25℃±15℃力度，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1系統性、水：設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(jī)（加注純凈水或者去離子水）

2勇探新路、電：AC380V 50Hz（63A空氣開(kāi)關(guān)），必須有良好接地

3傳遞、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上）試驗，需自備氬氣氣瓶（自帶6mm雙卡套接頭）

4、工作臺(tái)：尺寸1500mm×600mm×700mm開展攻關合作，承重200kg以上

5製度保障、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

1、石英樣品架固定在滑動(dòng)法蘭上的有效手段，使樣品裝載更加容易統籌推進。

2、樣品架上放置76mm的AlN基片關鍵技術，承載需要退火的樣品了解情況。AIN具有很高的熱導(dǎo)率，可使樣品放置的區(qū)域有很好的溫度均勻性（±5℃）表現。

3特點、內(nèi)插式熱偶保證了溫度的準(zhǔn)確性。

4結論、采用PID自動(dòng)溫度控制部署安排，30段程序，并設(shè)有過(guò)熱和斷偶保護(hù)功能技術。

5推廣開來、已通過(guò)CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

1相對較高、電源：爐體單相208V-240V資源配置，50Hz/60Hz，10KW

　　　　　高真空系統(tǒng)AC110V/220V任意切換相關，50Hz/60Hz大力發展，110W

2、爐體結(jié)構(gòu)：雙層莫來(lái)石鋼構(gòu)

3生產效率、石英管：外徑Ø110mm產能提升，內(nèi)徑Ø103mm，長(zhǎng)380mm

4節點、樣品架：76mm

5通過活化、加熱元件：8根紅外燈管落地生根，燈絲長(zhǎng)200mm，絲圈Ø10mm健康發展，燈長(zhǎng)300mm

6有效保障、加熱區(qū)：102mm×305mm，均勻性±5℃

7長效機製、熱偶：K型熱偶

8講實踐、溫度：溫度1100℃，額定溫度1000℃製高點項目，在1000℃-1100℃下保溫時(shí)間不得超過(guò)600s

9為產業發展、控溫精度：±0.5℃

10、升溫速度：RT-800℃內(nèi)50℃/s有所增加，800℃-1000℃內(nèi)10℃/s

11、高真空系統(tǒng)氣動(dòng)時(shí)間：2min

12更高要求、真空度：6.3×10^-5mbar（在40min中）

13越來越重要的位置、真空法蘭：KF-D25，配有兩個(gè)高溫O型圈密封

14共同學習、流量計(jì)：16ml/min-160ml/min

15順滑地配合、前級(jí)泵流速：在10mbar狀態(tài)下3.8L/min，50Hz效高；4.4L/min逐漸顯現，60Hz

產(chǎn)品規(guī)格

爐體：尺寸760mm×330mm×530mm，重量50kg

高真空系統(tǒng)：尺寸：600mm×600mm×700mm系統穩定性，重量18kg