產(chǎn)品型號(hào)

小型1000℃RTP爐OTF-1200X-4-RTP

本設(shè)備要求在海拔1000m以下使用，溫度25℃±15℃合規意識，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1有效性、水：設(shè)備需配有自循環(huán)冷卻水機(jī)（加注純凈水或者去離子水）

2體製、電：AC220V 50Hz（35A空氣開(kāi)關(guān)），必須有良好接地

3創新科技、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上）服務延伸，需自備氬氣氣瓶（自帶Ø6mm雙卡套接頭）

4、工作臺(tái)：尺寸1500mm×600mm×700mm高效流通，承重200kg以上

5調解製度、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

1、內(nèi)爐膛表面涂有進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層功能，可以提高設(shè)備的加熱效率覆蓋範圍，同時(shí)可延長(zhǎng)其使用壽命。

2著力增加、石英樣品架固定在滑動(dòng)法蘭上發展邏輯，使樣品裝載更加容易。

3結構、樣品架上放置76mm（3"）的AlN基片重要的作用，承載需要退火的樣品。AIN具有很高的熱導(dǎo)率規模最大，可使樣品放置的區(qū)域有很好的溫度均勻性（±5℃）穩中求進。

4、內(nèi)插式熱偶保證了溫度的準(zhǔn)確性最深厚的底氣。

5協同控製、采用PID自動(dòng)溫度控制，30段程序品質，并設(shè)有過(guò)熱和斷偶保護(hù)功能及自整定功能利用好。

6、已通過(guò)CE認(rèn)證解決問題。所有電器元件（>24V）都通過(guò)了UL/MET/CAS認(rèn)證系列。若用戶自行承擔(dān)認(rèn)證費(fèi)用，本司保證單臺(tái)設(shè)備通過(guò)德國(guó)TUV認(rèn)證和CAS認(rèn)證相互配合。

7慢體驗、可增加鍍SiC的石墨坩堝改造成RTE爐（快速熱蒸發(fā)爐）著力增加。

技術(shù)參數(shù)

1、電源：208V-240V AC重要組成部分，50Hz/60Hz單相流程，功率9KW（>60A保險(xiǎn)）

2、爐體結(jié)構(gòu)：雙層莫來(lái)石鋼構(gòu)（不帶水冷或風(fēng)冷）

3特點、石英管：外徑Ø110mm深刻變革，內(nèi)徑Ø103mm，長(zhǎng)380mm

4和諧共生、樣品架：76mm

5質生產力、加熱元件：8根紅外燈管，燈絲長(zhǎng)200mm技術交流，絲圈Ø10mm先進的解決方案，燈長(zhǎng)300mm

6、恒溫區(qū)：102mm×305mm創造更多，均勻性±5℃

7宣講活動、熱偶：K型熱偶

8、溫度：溫度1100℃工藝技術，額定溫度1000℃（警告：在1000℃-1100℃下保溫時(shí)間不超過(guò)600s效率，否則O型圈將被燒融）

9、控溫精度：±1℃

10近年來、升溫速度：RT-800℃內(nèi)50℃/s講道理，800℃-1000℃內(nèi)10℃/s

11、降溫速度：60℃/min（在200mtorr下）技術先進，117℃/min（在一個(gè)大氣壓下）

12更多的合作機會、真空度：50mtorr（機(jī)械泵），10^-4torr（分子泵）

13認為、真空法蘭： 帶有KF-D25高真空不銹鋼法蘭服務好，配有兩個(gè)高溫O型圈密封

14、流量計(jì)：16ml/min-160ml/min

15反應能力、真空計(jì)：數(shù)字真空計(jì)發展邏輯，測(cè)量范圍10mtorr-800torr（注意：此表在氮?dú)庀滦?zhǔn)的，只有在氮?dú)夂涂諝庀卤?/span>上顯示的實(shí)際壓力有所提升，當(dāng)通入任何其他氣體時(shí)，必須參考說(shuō)明書(shū)中的相對(duì)氣體對(duì)照表新的力量，否則后果會(huì)嚴(yán)重）

16先進水平、水冷：如要求通冷卻水，請(qǐng)確定冷卻水流速3L/min全面展示、水溫20℃重要平臺、水壓25PSI（建議采用循環(huán)水制冷器作為冷卻系統(tǒng)）

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：760mm×330mm×530mm深刻認識；重量：45kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

AIN基片

1片

2

石英樣品架

1個(gè)

3

石英管

1根

4

石英擋板

4片

KF-D25快接

數(shù)字真空計(jì)

10

高溫硅膠圈

6個(gè)

11

聚氨酯水管（外徑Ø12mm、內(nèi)徑Ø8mm）

1根

14

4A保險(xiǎn)

2個(gè)

2深入、波紋管（KF-D25接口）（1m）

3、KF-D25快接

4前沿技術、防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)（測(cè)量范圍3.8×10^-5torr-1125torr基礎，不需要因測(cè)量氣體的種類(lèi)不同而進(jìn)行系數(shù)轉(zhuǎn)換）

5、RS485串口和控溫軟件

注意事項(xiàng)

1多種方式、爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa對外開放。

2、由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高深入交流研討，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)資料，氣瓶上必須安裝減壓閥。（建議選購(gòu)本司的減壓閥關註度，量程為0.01MPa-0.1MPa橫向協同，更加精確安全）

3、當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)敢於挑戰，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)不斷創新，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)探索。

4堅持先行、進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊滿意度。

5情況較常見、石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度<1100℃。

6主要抓手、對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)體製，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱創新科技，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)服務延伸。若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立即打開(kāi)泄氣閥具有重要意義，以防意外發(fā)生（如爐管破裂進一步、法蘭飛出等）。