TMC—STACIS Quiet Island主動隔振器
半導(dǎo)體制造工廠穩定發展、納米技術(shù)中心基石之一、納米工廠和其他精密制造和研究中心通常將潔凈室與活動假地面系統(tǒng)結(jié)合在一起，以滿足復(fù)雜的設(shè)施要求（管道能力建設、電纜模樣、燃?xì)夤艿赖龋┖捅３謬?yán)格的清潔標(biāo)準(zhǔn)。這種地面不適用于對振動敏感的生產(chǎn)服務、檢測和計量設(shè)備很重要。活動地面無法為這些工具提供安靜的振動環(huán)境指導。TMC的Quiet Island用一個固定在下面底層地面上的“安靜島”替換一部分活動地面區(qū)域廣泛認同，提供了一種創(chuàng)新的解決方案。Quiet Island包括一個兼容潔凈室的平臺頂部和一個應(yīng)用和現(xiàn)場特定的支撐結(jié)構(gòu)流動性。
消振
Quiet Island有的主要支撐元件和核心技術(shù)都集成在STACIS III主動消振系統(tǒng)中鍛造。這種“剛性”式慣性消振支撐系統(tǒng)是任何振動敏感型儀器的理想選擇，它使此類工具能夠在嘈雜的環(huán)境中以很高標(biāo)準(zhǔn)運行持續創新。STACIS III兼容自動化晶圓加工工具改善、高分辨率電子束成像工具、離子束銑削工具以及任何帶有被動或主動內(nèi)部隔振系統(tǒng)的工具協調機製。此外信息化，它還提供了 zui 寬 頻率范圍內(nèi)的 zui 大隔振性能。并且“硬安裝”設(shè)計非常堅硬實踐者，因此對于較高取得明顯成效、上重下輕的工具，不會出現(xiàn)穩(wěn)定性問題數據。
立管和支架
用于支撐STACIS隔振器的極其堅固實用的立管由TMC經(jīng)驗豐富的工程團(tuán)隊設(shè)計創新的技術，每個Quiet Island都經(jīng)過精心設(shè)計，適合各種活動地面高度顯著、底層地面幾何形狀和工具尺寸快速增長。TMC擁有豐富的知識和經(jīng)驗開放以來，可以設(shè)計滿足STACIS和您設(shè)施需求的支撐結(jié)構(gòu)。
剛性平臺
該平臺由一個經(jīng)TMC設(shè)計和制造的4英寸（100毫米）厚的鋼板夾層組成穩步前行，其中鋼板夾在一種輕質(zhì)結構不合理、不可壓縮、阻尼的芯材料周圍逐步改善。剛性鋼板和芯用環(huán)氧樹脂粘合到一個無縫不銹鋼盤中的分層效果提供了 ji 高 的剛度和結(jié)構(gòu)阻尼意見征詢。大橫截面和鋼含量產(chǎn)生了非常高的整體剛度。頂部和側(cè)面是一個連續(xù)的一體式不銹鋼外殼大大提高，以保持清潔的必然要求、美觀和完整性。TMC可根據(jù)需要設(shè)計和制造特定于應(yīng)用的平臺取得了一定進展，包括切口完善好、te 殊 形狀、固定孔和吊環(huán)螺栓積極參與。
TMC—STACIS Quiet Island主動隔振器
優(yōu)勢
采用STACIS - TMC主動壓電消振技術(shù)活動上、“硬安裝”設(shè)計和始于0.6 Hz的隔振與內(nèi)置隔振器的工具兼容。
模塊化進一步推進、定制和重新定位的靈活性 - 每個平臺都根據(jù)客戶的應(yīng)用量身定做導向作用，但與混凝土平臺不同，如果工具或地面特性發(fā)生變化應用的選擇，這些平臺可以很容易地重新進(jìn)行配置十大行動。
專業(yè)知識 - TMC擁有半導(dǎo)體制造商、科研機(jī)構(gòu)和超精密OEM合作的豐富經(jīng)驗背景下。我們了解客戶及其需求綜合措施。我們自己設(shè)計和制造。
性能
在24英寸高自然條件、40英寸 x 60英寸的Quiet Island設計標準、4座STACIS支架上、來自地面的VC-C輸入下測量傳遞率
規(guī)格
| 平臺表面 | 不銹鋼表面頂部和側(cè)面互動互補；
環(huán)氧涂漆鋼底部 |
| 平臺結(jié)構(gòu) | 專有的多層層壓鋼板 |
| 尺寸 | 量身定制 |
| 標(biāo)準(zhǔn)高度 | 15發揮重要帶動作用、18、20成就、24重要方式、30開展面對面、36系統、48英寸
38、46進一步提升、51空間廣闊、61營造一處、76、91知識和技能、122厘米
還可提供定制高度 |
| 負(fù)載能力 | 量身定制 |
| 剛性立管和支架 | 獲認(rèn)證的焊接取得顯著成效、全鋼結(jié)構(gòu)，
與潔凈室兼容的粉末涂層表面 |
| 可選附件 | 限制支架實現、平臺頂部吊環(huán)螺栓不容忽視，
用于格子式底層地面的橋板 |
| 平臺頂部版本 | 切口、通孔服務體系、用于固定工具的螺紋孔 |
其他Quiet Island配置
不具有環(huán)境振動規(guī)格的大型儀器通常需要一個與活動地面分開的剛性且穩(wěn)定的支架說服力。剛性Quiet Island是理想的解決方案。剛性Quiet Island具有相同的高性能平臺頂部分析，也可為任何高度新體系、任何底層地面幾何形狀的活動地面潔凈室以及各種工具尺寸定制設(shè)計。TMC提供一系列不同類型的支柱創造，以滿足各種需求不難發現，從而形成了特定于儀器和工廠的模塊化、可靈活地重新定位和升級的解決方案設備製造。
