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掃描近場(chǎng)光學(xué)顯微分光計(jì) NFS series

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掃描近場(chǎng)光學(xué)顯微分光計(jì) NFS series


概要
日本分光株式會(huì)社生產(chǎn)可以分光測(cè)定的掃描型接近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡NFS系列開放要求,世界。 這臺(tái)裝置能10-100nm左右的空間分解力進(jìn)行顯微分光測(cè)量平臺建設。 能在微小的領(lǐng)域觀測(cè)光譜強(qiáng)度變化以及波峰變換可更好的對(duì)物質(zhì)特性描述服務機製。

獲得第30回井上春成獎(jiǎng)


井上春成金獎(jiǎng)

特征
?世界臺(tái)一體化掃描型近接場(chǎng)光學(xué)分光顯微鏡
?數(shù)十~百nm高空間分辨率測(cè)量顯微分光。
?使用日本分光制的探頭可準(zhǔn)確使用特定大小的近接場(chǎng)光推動並實現。
?可同時(shí)測(cè)量樣品表面微小的凹凸形狀蓬勃發展。和原子力顯微鏡(AFM)類似的用法特點。
? illumination(透過(guò))積極回應、collection、 illumination-collection測(cè)量方式又進了一步。



近接場(chǎng)光學(xué)顯微分光系統(tǒng)

檢測(cè)探頭先端產(chǎn)生的近接場(chǎng)光和樣品表面相互作用產(chǎn)生的散射光
對(duì)于微小領(lǐng)域的表征方法有利用電子線的電子顯微鏡形態(tài)觀察多種場景、 X線微分析儀,掃描型探頭電鏡表面形狀觀察規劃。 這些分析方法可以得到高空間分辨率的畫像擴大公共數據、但是得不到樣品表面的化學(xué)信息。另外帶動擴大,雖然核心技術體系、顯微FT/IR分光、顯微光激發(fā)光分光持續發展、顯微拉曼光等可以得到表面化學(xué)信息必然趨勢,但是因?yàn)榭臻g分辨率有限度、所得到的信息也停留在微米量級(jí)擴大。原因是光的衍射是有限度的不能超過(guò)使用波長(zhǎng)范圍多樣性。
掃描型近場(chǎng)顯微鏡可以超過(guò)衍射限度對(duì)極微小領(lǐng)域表征發揮效力。由數(shù)十~百nm開(kāi)口的光纖探頭導(dǎo)入光、前端附近產(chǎn)生和開(kāi)口同等大小的近接場(chǎng)光明顯。將樣品靠近近接場(chǎng)光附近安全鏈、和樣品表面相互作用的結(jié)果可觀測(cè)到數(shù)十~百nm。現(xiàn)有的近接場(chǎng)光學(xué)顯微鏡沒(méi)有對(duì)樣品的反射創新為先、衍射光進(jìn)行分光后觀測(cè)真正做到、NFS系列是可分光的掃描型近接場(chǎng)光學(xué)顯微鏡,世界*創新延展。

新開(kāi)發(fā)的探針制作技術(shù)

探針先端以及除了開(kāi)口部分外為金屬套習慣、所以可以防止光外漏
NFS系列光纖前端約為數(shù)十~百nm開(kāi)口的探頭用于近接場(chǎng)光產(chǎn)生或者近接場(chǎng)光集光。日本分光的開(kāi)口技術(shù)以神奈川科學(xué)技術(shù)*(KAST)的研究成果基礎(chǔ)上開(kāi)發(fā)的進展情況、特定尺寸的開(kāi)口的積極性,再現(xiàn)性好。開(kāi)口的尺寸用電子顯微鏡高度的控制至關重要。

NFS series種類
主要有以下種類不久前。重點(diǎn)介紹近接場(chǎng)顯微紅外分光系統(tǒng)。
別的型號(hào)詳細(xì)請(qǐng)咨詢提升行動。
?室溫型/低溫型 近接場(chǎng)光照射裝置(NFS-220/320)
?室溫型/低溫型近接場(chǎng)用掃描裝置(NFS-210/310)
?室溫型/低溫型 近接場(chǎng)蛍光/光激發(fā)光分光裝置(NFS-230/330)
?近接場(chǎng)顯微鏡近紅外分光裝置(NFS-220FT/320FT)
?近接場(chǎng)顯微紅外分光裝置(NFIR-200/250)
?近接場(chǎng)納米碳素管評(píng)價(jià)裝置(NFS-230C/330C合規意識、特殊定制)
?近接場(chǎng)時(shí)間分解分光裝置(NFS-230TR/330TR、特殊定制)

NFIR-200/250近接場(chǎng)掃描顯微紅外分光裝置

近接場(chǎng)顯微紅外分光裝置
紅外分光法代表的振動(dòng)分光法有效性、不論有機(jī)?無(wú)機(jī)應(yīng)用于各種分析領(lǐng)域創新內容。但是,現(xiàn)有的紅外顯微分光系統(tǒng)空間分辨率受光的衍射現(xiàn)象的影響廣泛關註,限度為10μm左右善於監督。 近接場(chǎng)分光法、可以超過(guò)這個(gè)衍射限度就能壓製、可見(jiàn)光區(qū)域應(yīng)用于從亞微細(xì)米到納米規(guī)模的光分析更合理,紅外區(qū)域由于光纖探頭吸收的原因不能進(jìn)行分光分析。紅外領(lǐng)域通過(guò)采用漫反射型近接場(chǎng)光學(xué)系統(tǒng)更優美、實(shí)現(xiàn)了從近紅外到中紅外領(lǐng)域的亞微細(xì)米空間分辨率的分光測(cè)量各方面。 通過(guò)照射到探頭前端的紅外光產(chǎn)生紅外近接場(chǎng)光、檢測(cè)近接場(chǎng)光和樣品共鳴漫反射結(jié)果信號(hào)成效與經驗、測(cè)量紅外近接場(chǎng)光譜適應性。空間分辨率不受紅外波長(zhǎng)影響稍有不慎、由探頭前端產(chǎn)生近接場(chǎng)光的實(shí)際尺寸決定重要作用、大約探頭前端徑大小。因此相關性,紅外分廣發(fā)可用于亞微細(xì)米以下領(lǐng)域測(cè)量完成的事情。


特征和系統(tǒng)略圖
?漫反射型近接場(chǎng)光學(xué)裝置可除去光纖探頭吸收的影響物聯與互聯。
?環(huán)保配置。
?NFIR-250的FT部裝有大型測(cè)量用的樣品室改造層面,可對(duì)應(yīng)一般的紅外測(cè)量供給。
裝置的概略圖如下圖。


測(cè)量Al線路板上的硅膠粒子
下圖顯示了在Al線路板上涂直徑為3μm硅膠粒子的表面形狀和-CH以及-O吸收峰的映射結(jié)果經驗分享。 -CH的吸收雖然在粒子內(nèi)部可以觀測(cè)到解決方案、但是-OH吸収卻更廣。這是因?yàn)楣枘z粒子表面吸附的水膜的原因有力扭轉。CH和-OH吸收波峰波長(zhǎng)雖然粒子的尺寸只大約為3μm上高質量,但是實(shí)際可以測(cè)量到比這個(gè)波長(zhǎng)尺寸更高的空間分解能。


規(guī)格
NFIR-200/250

機(jī)種 NFIR-200/250
測(cè)量方式 雜散光測(cè)量方式廣度和深度、光學(xué)調(diào)整方式深入交流、探頭位置調(diào)整方式
檢測(cè)器 設(shè)置數(shù)量:大2種
標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)器:液體氮?dú)饫鋮sMCT檢測(cè)器
選項(xiàng)檢測(cè)器:液體氮?dú)饫鋮sInSb檢測(cè)器
切換方式:電動(dòng)
樣品臺(tái)范圍 豎×橫20×20μm、高16μm
傅里葉變換型分光系統(tǒng) 測(cè)量波長(zhǎng)范圍:4000~1000 cm-1 (MCT使用時(shí))
5000~2000 cm-1 (InSb使用時(shí))
分辨率:16cm-1
干渉計(jì):45°入射邁克爾遜干渉計(jì)
分速器:Ge/KBr
微型樣品室 裝備(NFIR-250)
控制用PC OS:Windows XP科技實力、通信:16bit AD/DA板處理、讀取畫像:ビデオキャプチャボード
軟件 反饋信號(hào)顯示器及映射測(cè)量軟件
3次元表示軟件、探頭觀察用CCD畫像表示軟件
映射解析軟件在此基礎上、光譜解析軟件
尺寸?重量 W1000 x D900 x H1300 mm助力各行、280kg(NFIR-200、含防振臺(tái))
W1600 x D750 x H1300 mm自主研發、300kg(NFIR-250確定性、含防振臺(tái))
電源 AC100V±10% 250VA(本體)、150VA(FT)損耗、100VA(PC)
其他必要的工具 防振臺(tái)用空氣源:氮?dú)饣蚩諝庠础?.3~0.8MPa




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