從樣品表面改質到清洗的小型臺式等離子清洗機
用途
●  高分子材料表面的官能基付與→粘合性發揮重要作用、密著性提高。通   過氧化反應數據顯示，在表面生成-OH高質量，＞C=O，-COOH等官能   基（微量的水分及二氧化碳影響）達到。   同樣在氮氣等離子體中，氮原子被吸收在表面中不可缺少，生   成-NH 2等官能基蓬勃發展。
●  硅晶圓蝕刻。
●  材料表面改性（金屬積極回應、聚合物重要性、薄膜、陶瓷等）多種場景。
●  石棉預處理（膜過濾灰化）多元化服務體系。
●  從電子設備到生化市場。
●  低溫灰化（高分子材料擴大公共數據、煤炭深度、食品等）。
●  使用玻璃和PDMS板粘貼PDMS芯片核心技術體系。
●  表面有機物去除
特點
●  RF為200 W的高性能輸出類型（PR200）開拓創新。
●  由于是尺寸緊湊的臺式機，很小的位置都可以安裝必然趨勢。
●  同步促進善治，自動調諧，操作簡單（PR200）多樣性。
●  等離子體反應器（灰化設備）（PR200）發揮效力。
●  同步、自動調諧（PR200）明顯。

反應腔

［例］石棉分析前處理

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