產(chǎn)品型號(hào)

1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)GSL-1700X-F3LV

本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃完善好，濕度55%Rh±10%Rh下使用大面積。

1、水：不需要

2問題分析、電：AC220V 50Hz培養，必須有良好接地

3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體更加完善，需自備氣瓶氣源

4形式、工作臺(tái)：尺寸1600mm×600mm×700mm，承重150kg以上

5支撐作用、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

1日漸深入、雙層殼體，配有風(fēng)冷系統(tǒng)同時，殼體溫度<55℃互動式宣講。

2、采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料產能提升，有效減少能量損失適應性。

3、內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口氧化鋁涂層通過活化，可以提高加熱效率和延長(zhǎng)使用壽命落地生根。

4、采用PID控制器 重要方式，可以設(shè)置30段升降溫程序開展面對面，并設(shè)有過(guò)熱和斷偶保護(hù)功能。

5非常重要、已通過(guò)CE認(rèn)證進一步提升。

技術(shù)參數(shù)

管式爐

1、電源：?jiǎn)蜗?/span>AC 208V-240V   50Hz/60Hz  5KW

2營造一處、爐管：99.8%高純氧化鋁陶瓷管改革創新，外徑Ø80mm，內(nèi)徑Ø72mm，長(zhǎng)1000mm

3新模式、加熱元件：1800℃級(jí)硅鉬棒8根

4實現、加熱區(qū)域：457mm

5、恒溫區(qū)域：150mm

6組織了、工作溫度：1700℃

7服務體系、大升降溫速率：5℃/min

8、控溫精度：±1℃

9搶抓機遇、真空度：5×10^-2 torr

10分析、泄漏率：大6mtorr/min

真空系統(tǒng)

1、真空泵：雙旋片機(jī)械泵

2全面闡釋、可達(dá)真空度：5×10^-2 torr

3非常激烈、法蘭：不銹鋼密封法蘭

4、針閥：2個(gè)不銹鋼針閥

5集中展示、真空泵接口：KF-25

6實力增強、軟管接頭：1/4″

7、真空顯示計(jì)：LED數(shù)字式真空顯示計(jì)探索創新，測(cè)量范圍0.1mtorr-850torr

浮子流量混氣系統(tǒng)

1、浮子流量計(jì)：3個(gè)實現了超越，精確度4%FS

2新產品、流量計(jì)范圍：10cc/min-100cc/min，16cc/min-160cc/min橋梁作用，25cc/min-250cc/min

3長遠所需、壓力表：1個(gè)，監(jiān)測(cè)混合氣體壓力

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：管式爐550mm×500mm×700mm讓人糾結，混氣系統(tǒng)600mm×600mm×700mm規模，

　　　真空機(jī)組600mm×600mm×700mm

重量：210kg

可選配件

防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)