背散射電子成像簡(jiǎn)介
掃描電鏡成像主要是利用樣品表面的微區(qū)特征背景下，如形貌綜合措施、原子序數(shù)、晶體結(jié)構(gòu)或位向等差異自然條件，在電子束作用下產(chǎn)生不同強(qiáng)度的物理信號(hào)設計標準，使熒光屏上不同的區(qū)域呈現(xiàn)出不同的亮度，從而獲得具有一定襯度的圖像互動互補。
當(dāng)電子束和試樣表層發(fā)生作用時(shí)發揮重要帶動作用，會(huì)產(chǎn)生大量的背散射電子，這些背散射電子襯度包含三種信息：
1. 樣品表層形貌信息意料之外，凸起文化價值、尖銳和傾斜面的背散射電子多形式，探頭接收到的信號(hào)強(qiáng)，圖像較亮不斷完善，即形貌襯度(topography contrast)數字化；
2. 原子序數(shù)信息，原子序數(shù)越大認為，背散射電子越多系統，探頭接收到的信號(hào)越強(qiáng)，反映在圖像上就越亮重要意義，即原子序數(shù)襯度成像(Z-contrast)；
3. 晶體取向信息更加廣闊，背散射電子的強(qiáng)度取決于入射電子束與晶面的相對(duì)取向規劃。晶體取向和入射電子束方向的改變均可導(dǎo)致BSE強(qiáng)度的改變(Electron channeling contrast，簡(jiǎn)稱(chēng)ECC可以使用，由此得到的襯度像簡(jiǎn)稱(chēng)ECCI)進入當下。
這篇文章主要講ECCI 的原理及應(yīng)用。
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