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P 系列粉末原子層沉積系統(tǒng)
粉末包覆可有效提升材料性能與使用壽命重要的角色,如鋰電正極或負極材料認為,經過表面包覆處理后在放電性能及循環(huán)使用壽命方面都有明顯提升系統,但目前工業(yè)的包覆手段以機械混合的干法為主,該方法包覆均勻性較差重要意義,性能提升有限交流等。ALD 技術可實現高精度及均勻包覆,是理想的包覆手段規劃。Forge Nano 針對粉末類材料比表面積大的特點提高,采用流化床技術實現粉末材料的流化,從而保證前驅體與粉末實現充分的接觸進入當下。P 系列粉末原子層沉積系統(tǒng)是 Forge Nano 針對工業(yè)包覆研發(fā)的粉末 ALD 負載系統(tǒng)紮實,可實現 kg 級粉末批量包覆,是工業(yè)生產前理想的研發(fā)工具新體系。
產品規(guī)格【原子層沉積多少錢】
1. 前驅體通道:2-8
2. 腔室容量:0-600ml
3. 反應器溫度:450℃
4. 最高工藝溫度:200℃
5. 振動流化床反應器
6. 模塊:流化輔助投入力度,質譜,臭氧發(fā)生器尤為突出,等離子體發(fā)生器
產品特點
P 系列是 Forge Nano 專為粉末 ALD 開發(fā)的研發(fā)級工具規定,可輕松實現 kg 的粉末包覆。使用流化床技術可保證粉末在反應器中的分散空間載體,有利于前驅體擴散高質量。
流化輔助
粉末在長時間存放或流化不充分時容易出現團聚,導致無法形成理想的流化態(tài)重要組成部分。因此利用流化輔助模塊解決方案,高剪切氣流以及振動反應器的設計可沖散團聚顆粒,確保分散效果有力扭轉。
分區(qū)加熱
所有前驅體源均可獨立加熱上高質量,保證運輸條件,這對于部分低蒸汽壓的前驅體以及敏感的基底材料非常重要廣度和深度。P 系列也擁有*的閥門控制系統(tǒng)深入交流,可以實現多通道前驅體輸運。
在線監(jiān)測
P 系列配置了氣體在線分析系統(tǒng)加強宣傳,對 ALD 工藝的改善有較大幫助臺上與臺下,使用者可通過氣體成分判斷反應的完成度。
應用
鋰電池:鋰電正極或負極材料的包覆可有效提升其放電性能及使用壽命技術發展。常見的 NCM 與磷酸鐵鋰集聚效應,在表面包覆 Al2O3 等氧化物薄膜后集成,在經過多次放電后,仍可保持較高的能量密度互動講。
3D 打臃€定性。?/strong>3D 打印粉末存在腐蝕及表面氧化的問題,會影響最終器件的性能過程中。通過表面涂層改性去突破,可有效延緩氧化及腐蝕。傳統(tǒng)的包覆方式是在器件表面進行 ALD 沉積達到,但對于 3D 打印粉末智能設備,直接對原材料粉末改性無疑是更有效的手段。
催化:催化反應大多數是發(fā)生在材料表面的界面反應蓬勃發展,因此對于催化劑材料進行表面構筑改性是有效的性能提升手段特點。利用 ALD 可以直接在粉末,纖維材料表面生長高活性納米涂層重要性,另一種方法是利用模板法結合 ALD 在表面構筑特定結構高質量,暴露活性位點。此外記得牢,也可以在特定的顆粒表面進行表面包覆註入了新的力量,防止催化劑燒結團聚。