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在2018 年之前提供有力支撐，為何沒有看到使用肖特基場發(fā)射電子源（FEG）的臺式掃描電子顯微鏡（SEM）呢？為何在臺式掃描電鏡（SEM）中使用場發(fā)射電子源（FEG）是十分的呢良好？

當臺式掃描電鏡遇見場發(fā)射電子源

臺式掃描電鏡（SEM）是一個相對年輕且發(fā)展迅速的產(chǎn)品逐步顯現。其實許多應用領域并不需要使用低于1 nm 的超高分辨率掃描電鏡（SEM），10 nm 的分辨率是綽綽有余的引領。然而自動化裝置，由于材料特征點尺寸越來越小和觀測需求的增加，臺式掃描電鏡（SEM）用戶有時希望設備能夠具有更好的分辨率應用前景，并且保持測樣效率不變有很大提升空間、操作依然簡便運行好。

飛納臺式場發(fā)射掃描電鏡的誕生

在設計新的掃描電鏡（SEM）時會出現(xiàn)諸多挑戰(zhàn)。通常可能性更大，為了獲得更好的性能部署安排，新設備的規(guī)格需要更高的要求。另一個挑戰(zhàn)是新系統(tǒng)的出現(xiàn)技術，不會影響到飛納臺式掃描電鏡（SEM）的操作簡便性推廣開來。可以讓沒有掃描電鏡（SEM）操作經(jīng)驗的實驗室管理員能夠在短時間內(nèi)熟練操作電鏡相對較高。那么資源配置，當飛納電鏡從CeB6電子源升級到FEG 電子源時，將面臨的挑戰(zhàn)是什么相關？

首先大力發展，需要分析掃描電鏡（SEM）電子源之間的差異。

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