產(chǎn)品參數(shù)

測量粒徑

A 0.3um使用、2.5um大幅拓展、10um;                                                  B 0.3um、(0.5/1.0/2.5/5.0）um優化程度、10um;

C0.3um積極性、0.5um、1.0um不斷豐富、2.5um實施體系、5.0m、10um;             D 0.5um各有優勢、1.0um效果較好、1.5um、2.0um、2.5um開拓創新、3.0um;

E0,5um持續發展、1.0um、3.0um促進善治、5.0um擴大、10.0um、25.0um;      F 0.1μm,0.2μm,0.3μm,0.5μm,1.0μm,5.0μm;

1發揮效力、粒徑分布誤差：≤±30%

2新格局、濃度示值誤差：≤±30%

3、重復(fù)相對偏差：≤±10%FS

4安全鏈、重疊誤差：≤5%

5顯示、氣體檢測：可測氣體濃度（可選配）

6、溫度范圍：-40 ～ 120℃

7真正做到、檢定標(biāo)準(zhǔn)：ISO14644-1或 JJF1190

8科普活動、氣泵流速：2.83L/min，28.3L/min（可選）強化意識；

9長期間、采樣時(shí)間：3、6的積極性、9綠色化發展、12、15不久前、30用上了、60秒（可選）；

10能力建設、檢測模式：數(shù)量模式關註；質(zhì)量模式； 凈效模式無障礙；

11連日來、檢測方式：定時(shí)檢測、循環(huán)檢測可設(shè)置     

12認為、報(bào)警方式：自定義數(shù)量報(bào)警值系統、質(zhì)量報(bào)警值

13、限值報(bào)警：RS485信號報(bào)警或外接聲光報(bào)警器

14更合理、法 規(guī) 性：權(quán)限管控適應能力、審計(jì)追蹤、電子記錄等

15各方面、合 規(guī) 性：符合ISO 21501-4防控，JIS B9921

16成效與經驗、通訊接口：RS232、R485堅實基礎、LAN-USB

17稍有不慎、存儲模式：實(shí)時(shí)、定時(shí)存儲可設(shè)置等地；無限制

18最為顯著、打印模式：可選配微型打印機(jī)打印數(shù)據(jù)

19、工作條件：5 ～ 45℃物聯與互聯、≤90%RH穩定，無冷凝

20、多種探針可供選擇

產(chǎn)品特點(diǎn)

智能化設(shè)計(jì)與操作體驗(yàn)

7英寸高分辨率觸控屏：支持實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)可視化與交互操作供給，簡化流程。

雙電池?zé)岵灏蜗到y(tǒng)?：支持連續(xù)生產(chǎn)場景下的不間斷作業(yè)經驗分享，電池更換無需停機(jī)解決方案。

USB數(shù)據(jù)接口與軟件升級?：便捷導(dǎo)出檢測報(bào)告，并可通過固件更新持續(xù)優(yōu)化性能有力扭轉。

提升制造效率

減少50%自凈時(shí)間?：通過量化表面污染數(shù)據(jù)上高質量，縮短設(shè)備維護(hù)周期（PM周期），提升產(chǎn)線吞吐量廣度和深度。

延長MTBC：結(jié)合顆辽钊虢涣?？刂撇呗裕P(guān)鍵設(shè)備可靠性提升4倍以上加強宣傳。

覆蓋高潔凈場景

半導(dǎo)體制造：晶圓表面臺上與臺下、機(jī)臺內(nèi)腔等關(guān)鍵區(qū)域的潔凈度驗(yàn)證。

精密光學(xué)與電子：液晶面板技術發展、光學(xué)鏡片組件集聚效應、醫(yī)療器械的表面污染控制。

符合國際標(biāo)準(zhǔn)

產(chǎn)品嚴(yán)格遵循ISO-14644-9表面粒子控制規(guī)范重要手段，為全球半導(dǎo)體廠商提供標(biāo)準(zhǔn)化檢測工具互動講。