產(chǎn)品特點(diǎn)

智能化設(shè)計(jì)與操作體驗(yàn)

7英寸高分辨率觸控屏：支持實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)可視化與交互操作重要的角色，簡化流程開放要求。

雙電池?zé)岵灏蜗到y(tǒng)?：支持連續(xù)生產(chǎn)場景下的不間斷作業(yè)，電池更換無需停機(jī)平臺建設。

USB數(shù)據(jù)接口與軟件升級(jí)?：便捷導(dǎo)出檢測報(bào)告服務機製，并可通過固件更新持續(xù)優(yōu)化性能。

提升制造效率

減少50%自凈時(shí)間?：通過量化表面污染數(shù)據(jù)使用，縮短設(shè)備維護(hù)周期（PM周期）大幅拓展，提升產(chǎn)線吞吐量發行速度。

延長MTBC：結(jié)合顆粒控制策略與時俱進，關(guān)鍵設(shè)備可靠性提升4倍以上性能。

覆蓋高潔凈場景

半導(dǎo)體制造：晶圓表面、機(jī)臺(tái)內(nèi)腔等關(guān)鍵區(qū)域的潔凈度驗(yàn)證高效。

精密光學(xué)與電子：液晶面板溝通協調、光學(xué)鏡片組件、醫(yī)療器械的表面污染控制體系。

符合國際標(biāo)準(zhǔn)

產(chǎn)品嚴(yán)格遵循ISO-14644-9表面粒子控制規(guī)范保障性，為全球半導(dǎo)體廠商提供標(biāo)準(zhǔn)化檢測工具。

產(chǎn)品參數(shù)

測量粒徑:

A 0.3um責任製、2.5um持續發展、10um;                            B 0.3um、(0.5/1.0/2.5/5.0）um促進善治、10um;

C0.3um、0.5um多樣性、1.0um發揮效力、2.5um、5.0m明顯、10um;         D 0.5um安全鏈、1.0um、1.5um創新為先、2.0um真正做到、2.5um、3.0um;

E0,5um創新延展、1.0um強化意識、3.0um、5.0um基本情況、10.0um現場、25.0um;     F 0.1μm,0.2μm,0.3μm,0.5μm,1.0μm,5.0μm;

1、粒徑分布誤差：≤±30%

2力量、濃度示值誤差：≤±30%

3我有所應、重復(fù)相對偏差：≤±10%FS

4、重疊誤差：≤5%

5深入實施、氣體檢測：可測氣體濃度（可選配）

6至關重要、溫度范圍：-40 ～ 120℃

7、檢定標(biāo)準(zhǔn)：ISO14644-1或 JJF1190

8效果、氣泵流速：2.83L/min有所應，28.3L/min（可選）足了準備；

9、采樣時(shí)間：3善於監督、6集成技術、9、12更合理、15適應能力、30、60秒（可選）各方面；

10防控、檢測模式：數(shù)量模式；質(zhì)量模式適應性； 凈效模式堅實基礎；

11、檢測方式：定時(shí)檢測重要作用、循環(huán)檢測可設(shè)置     

12等地、報(bào)警方式：自定義數(shù)量報(bào)警值、質(zhì)量報(bào)警值

13尤為突出、限值報(bào)警：RS485信號(hào)報(bào)警或外接聲光報(bào)警器

14規定、法 規(guī) 性：權(quán)限管控、審計(jì)追蹤空間載體、電子記錄等

15高質量、合 規(guī) 性：符合ISO 21501-4，JIS B9921

16重要組成部分、通訊接口：RS232流程、R485、LAN-USB

17勃勃生機、存儲(chǔ)模式：實(shí)時(shí)助力各業、定時(shí)存儲(chǔ)可設(shè)置；無限制

18廣度和深度、打印模式：可選配微型打印機(jī)打印數(shù)據(jù)

19深入交流、工作條件：5 ～ 45℃、≤90%RH加強宣傳，無冷凝

20臺上與臺下、多種探針可供選擇