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GT130D氣體質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller 縮寫為MFC) 用于對氣體的質(zhì)量流進(jìn)行精密測量和控制。它們在半導(dǎo)體集成電路工業(yè)服務好、特種材料學(xué)科新趨勢、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)共謀發展、醫(yī)藥學習、環(huán)保等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。典型應(yīng)用場合有微反應(yīng)裝置聽得懂、混氣配氣系統(tǒng)應用優勢、毛細(xì)管測量、氣象色譜儀以及其他分析儀器全方位。

技術(shù)特點

• 微處理器控制

內(nèi)部采用可編程未處理器控制高效節能，使用PID控制，可實現(xiàn)不同工況條件下進(jìn)行高速精確的流量控制大局。

• 緊湊的外形尺寸

尺寸非常小巧緊湊新創新即將到來，用戶使用時，不但能夠減小系統(tǒng)體積和重量有序推進，同時能夠集成更多的功能模塊設施。

• 多氣體多量程選擇

內(nèi)部設(shè)置了多種氣體模式（H2、N2堅定不移、Air組合運用、He等），用戶可根據(jù)用戶手冊及使用需求進(jìn)行操作選擇迎難而上。同時競爭力，本公司提供擇不同量程MFC產(chǎn)品，用戶可根據(jù)需求進(jìn)行選資料。

• RS-484總線接口

內(nèi)置RS-485總線接口廣泛應用，可選擇使用RS-485控制或按鍵控制兩種模式M向協同？赏ㄟ^RS-485總線組網(wǎng)哪些領域，實現(xiàn)多臺MFC同時控制。

• 可獨立運行

上電后即可使用不斷創新，用戶可通過按鍵直接對MFC進(jìn)行操作建立和完善，無需連接其他外部電路、PC參與水平、PLC等設(shè)備大型。

• 便捷標(biāo)定方法

GT130D氣體質(zhì)量流量控制器可通過標(biāo)定軟件對MFC進(jìn)行標(biāo)定，只需將MFC通過RS-485總線與PC連接即可進(jìn)行標(biāo)定。

技術(shù)指標(biāo)