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GT130DMAX 氣體流量控制器
GT130DMAX 氣體流量控制器用于對氣體的質(zhì)量流進行精密測量和控制。它們在半導體集成電路工業(yè)、特種材料學科攜手共進、化學工業(yè)共同、石油工業(yè)、醫(yī)藥經過、環(huán)保等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用簡單化。典型應用場合有微反應裝置、混氣配氣系統(tǒng)明確了方向、毛細管測量系統性、氣象色譜儀以及其他分析儀器。
技術(shù)特點
內(nèi)部采用可編程未處理器控制單產提升，使用PID控制傳遞，可實現(xiàn)不同工況條件下進行高速精確的流量控制。
尺寸非常小巧緊湊勞動精神，用戶使用時開展攻關合作，不但能夠減小系統(tǒng)體積和重量，同時能夠集成更多的功能模塊預下達。
內(nèi)部設(shè)置了多種氣體模式（H2的有效手段、N2、Air方案、He等）關鍵技術，用戶可根據(jù)用戶手冊及使用需求進行操作選擇。同時深入，本公司提供擇不同量程MFC產(chǎn)品技術研究，用戶可根據(jù)需求進行選。
內(nèi)置RS-485總線接口深刻變革，可選擇使用RS-485控制或按鍵控制兩種模式結論。可通過RS-485總線組網(wǎng)質生產力，實現(xiàn)多臺MFC同時控制適應性強。
上電后即可使用，用戶可通過按鍵直接對MFC進行操作先進的解決方案，無需連接其他外部電路拓展、PC、PLC等設(shè)備宣講活動。
GT130DMAX大流量氣體質(zhì)量流量控制器可通過標定軟件對MFC進行標定不斷進步，只需將MFC通過RS-485總線與PC連接即可進行標定。
技術(shù)指標
項目 | 參數(shù)信息 |
大量程 | 10slpm~20slpm(可定制) |
精度 | ±1%F.S. |
氣體類型 | H2/He/N2/Air/Ar（可定制） |
響應時間 | 1s |
壓差范圍 | <1MPa |
工作溫度 | 0~50℃ |
工作濕度 | 0~95%R.H.（非冷凝） |
工作電壓 | DC24V±10%/DC12V±10% |
信號接口 | RS-485（Modbus） |
氣路材質(zhì) | 不銹鋼/鋁合金/鋁合金惰性涂層 |
氣路接口 | 1/4 |
尺寸 | 60×26×80mm |
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