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資料簡介
勻膠機是在高速旋轉(zhuǎn)的基片上信息化，滴注各類膠液方式之一，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設(shè)備，膜的厚度取決于勻膠機的轉(zhuǎn)速和溶膠的黏度新型儲能。
概述
該設(shè)備主要用于晶片涂光刻膠創新能力，有自動、手動和半自動三種工作方式範圍。
送片盒中的晶片求得平衡，自動送到承片臺上，用真空吸附註入新的動力，在主軸電機的帶動下旋轉(zhuǎn)顯示，轉(zhuǎn)速100-9900轉(zhuǎn)/分(±10轉(zhuǎn)/分)，起動加速度可調(diào)。每道程序的持續(xù)時間設計能力，轉(zhuǎn)速品牌、加速度、烘烤溫度更為一致、烘烤時間等形式、預(yù)烘時間等工藝參數(shù)均可通過編程控制。
勻膠機有一個或多個滴膠系統(tǒng)研究與應用，可涂不同品種的光刻膠飛躍。滴膠的方式有晶片靜止或旋轉(zhuǎn)滴膠。隨著晶片尺寸的增大全面協議，出現(xiàn)了多點滴膠或膠口移動式滴膠重要部署。膠膜厚度一般在500-1000nm，同一晶片和片與片間的誤差小于±5nm工具。滴膠泵有波紋管式和薄膜式兩種智慧與合力，并有流量計進行恒量控制。對涂過膠的晶片有上下刮邊功能重要的角色，去掉晶片正反面多余的光刻膠開放要求。
烘烤工位，有隧道式遠紅外加熱平臺建設，微波快速加熱以及電阻加熱的熱板爐等服務機製。涂膠后的晶片要按一定的升溫速率進行烘干。烘烤過程在密封的爐子中進行使用，通過抽真空排除揮發(fā)出來的有害物質(zhì)大幅拓展。前烘結(jié)束后，將晶片送入收片盒內(nèi)優化程度。
主軸轉(zhuǎn)速的穩(wěn)定性和重復(fù)性是決定膠膜厚度均勻性和一致性的關(guān)鍵積極性，起動加速度的大小是決定是否能將不同粘稠度的光刻膠甩開并使膠均勻的決定因素。
選購技巧
從其原理來說不斷豐富，可以看出選購勻膠機需要注意的幾個細節(jié)
旋轉(zhuǎn)速度
轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性實施體系。如果標示的轉(zhuǎn)速和電機的實際轉(zhuǎn)速誤差很大，對于要求涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數(shù)據(jù)的各有優勢。國產(chǎn)的某些勻膠機只能提供轉(zhuǎn)速范圍效果較好，并不能精確標定實時的轉(zhuǎn)速。進口的勻膠機雖然大部分能標定轉(zhuǎn)速核心技術體系，但是大部分轉(zhuǎn)速精度沒有標準認定開拓創新。建議購買轉(zhuǎn)速控制方面有認定標準的，比如:美國NIST標準等必然趨勢。
真空吸附系統(tǒng)的構(gòu)造
真空泵一定要無油的促進善治，壓力標定準確擴大，國內(nèi)的無油真空泵實在不敢恭維。因為任何的油污都可能堵塞真空管道發揮效力，如果真空吸附力降低新格局，會導(dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生"飛片"的情況，還會讓滴膠液不慎進入真空管道系統(tǒng)造成堵塞安全鏈。用過國產(chǎn)勻膠機的客戶常常會關(guān)心怎么清洗的問題顯示，這一點許多國外的勻膠機做得不錯，他們有通過聯(lián)動機制真正做到，如果真空吸附力不夠的時候科普活動，不會開始旋轉(zhuǎn)。
材質(zhì)的選擇
對于半導(dǎo)體化工行業(yè)的應(yīng)用來說強化意識，材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵長期間，大部分勻膠機采用的是不銹鋼或者普通塑料材質(zhì)，因為這種材質(zhì)的成本很低的積極性，不銹鋼的對于各類化工膠液的抗腐蝕性不太好綠色化發展，塑料對于較高溫度和壓力下易產(chǎn)生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話不久前，將會導(dǎo)致旋涂時，時高時低的顛簸狀態(tài)提升行動。自然無法得到好的旋涂效果能力建設。例如美國等型號都是采用天然聚丙烯(NPP)或者聚四氟乙烯(特氟隆，PTFE)材質(zhì)研究進展。這兩種材質(zhì)具備綠色環(huán)保無障礙、節(jié)約資源、重量輕快速融入、強度大認為、抗沖擊性能好、堅固耐用增強、花紋自然重要意義、光澤度好等優(yōu)點。
旋轉(zhuǎn)涂覆
旋轉(zhuǎn)涂覆所使用的設(shè)備是勻膠機更優美。勻膠機有很多種稱謂各方面，英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又稱甩膠機成效與經驗、勻膠臺適應性、旋轉(zhuǎn)涂膠機、旋轉(zhuǎn)涂膜機稍有不慎、旋轉(zhuǎn)涂層機重要作用、旋轉(zhuǎn)涂布機等地、旋轉(zhuǎn)薄膜機、旋轉(zhuǎn)涂覆儀尤為突出、旋轉(zhuǎn)涂膜儀規定、勻膜機，總的來說改造層面，他們原理都是一樣的供給，即在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液經驗分享，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上解決方案，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)有力扭轉。
從其原理來說上高質量，勻膠機有以下兩個特點。
(1)旋轉(zhuǎn)速度
轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性廣度和深度。如果標示的轉(zhuǎn)速和電機的實際轉(zhuǎn)速誤差很大深入交流，對于要求涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數(shù)據(jù)的。目前轉(zhuǎn)速控制方面有認定標準加強宣傳，如美國NIST標準等臺上與臺下。
(2)真空吸附系統(tǒng)
真空泵一般采用無油泵，即通常說的干泵技術發展，因為任何的油污都可能堵塞真空管道集聚效應，如果真空吸附力降低，會導(dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生"飛片"的情況重要手段，還會讓滴的膠液不慎進入真空管道系統(tǒng)造成堵塞互動講。有的勻膠機通過聯(lián)動機制，當(dāng)真空吸附力不夠時不會開始旋轉(zhuǎn)像一棵樹。這樣可有效避免滴的膠液不慎進入真空管道系統(tǒng)講故事。
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