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如何避免掃描電鏡觀察過程中碳沉積現(xiàn)象

來源: 復(fù)納科學(xué)儀器(上海)有限公司    2019年09月27日 11:22  
  在使用掃描電鏡進行樣品觀察時的發生,尤其是采用二次電子模式組成部分,隨著觀察時間的延長,在觀察的區(qū)域會出現(xiàn)一塊黑的矩形的區(qū)域新的動力。
 
  如下圖所示的過程中,對一塊空白的鋁制樣品臺進行觀察時,一段時間后降低放大倍數(shù)廣泛關註,發(fā)現(xiàn)圖像中間有一明顯的黑色矩形促進進步,我們可以簡單的稱這種現(xiàn)象叫做碳沉積。
 
  碳沉積主要原理:在電鏡的樣品區(qū)往往存在一些碳氫化合物優勢領先,被電子束轟擊后迎來新的篇章,會形成帶正電荷的碳離子。掃描電鏡觀察樣品時推動並實現,電子束在微區(qū)掃描使得該區(qū)域電子較為富集薄弱點,碳離子會向該區(qū)域富集并沉積下來,影響該區(qū)域二次電子信號的產(chǎn)生優化程度。
 
  如下圖所示積極性,在一個區(qū)域觀察一段時間后,樣品表面出現(xiàn)明顯的碳沉積不斷豐富,顆粒表面仿佛有層“薄膜”實施體系,影響樣品拍照效果。
 
 
  正常樣品拍攝效果                                                    碳沉積后樣品拍攝效果
 
  碳沉積現(xiàn)象會影響電鏡圖像的拍攝各有優勢,使得圖像清晰度下降效果較好,亦會影響能譜對輕元素分析的準(zhǔn)確性。
 
  如下圖所示持續,先對樣品某區(qū)域進行能譜分析等多個領域,5、10 分鐘后再對該區(qū)域能譜分析產品和服務,發(fā)現(xiàn)碳元素特征 X 射線峰會升高應用擴展。
 
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碳氫化合物是引起碳沉積的關(guān)鍵因素,其主要來源于以下幾方面:
 
  1. 樣品
 
  樣品在制備或存儲過程中接觸到油脂等污染物前景,尤其是一些機械加工的部件實事求是,加工過程能黏附有較多油脂。在觀察之前需要用酒精等有機溶劑進行清洗干燥落到實處。一般情況下服務水平,樣品污染越嚴(yán)重,碳沉積現(xiàn)象越明顯技術創新。
 
  2. 電鏡部件
 
  若掃描電鏡真空系統(tǒng)有油泵處理方法,微量油蒸氣進入電鏡腔室,加重碳沉積持續向好。電鏡使用過程中習慣,人手可能會接觸到電鏡真空系統(tǒng)中的部件,并且?guī)胍恍┪廴疚镞M展情況,或由于操作不?dāng)導(dǎo)致樣品污染了這些配件的積極性。
 
  飛納電鏡的真空系統(tǒng)為無油機械泵綠色化發展,為了排除電鏡部件對碳沉積的影響,需要使用人員妥善保管樣品杯不久前,不使用的時候需要將樣品杯保存在密封袋中或干凈盒子中用上了,使用過程需要佩戴手套,避免手上的油脂污染樣品杯能力建設。
 
  3. 操作員
 
  無論是前期樣品制備和裝載關註,還是后期樣品的卸載,操作員會接觸到電鏡樣品和配件無障礙。操作員需要佩戴手套或使用干凈制樣工具操作連日來。
 
  4. 電鏡室環(huán)境
 
  電鏡和樣品長期暴露在較多灰塵的環(huán)境中,受污染的概率會加大認為,亦會加重碳沉積現(xiàn)象系統。對于粉末樣品,不要在電鏡室中制樣文化價值,以免粉末漂浮在空氣中形式,增加污染電鏡腔室的危險。

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