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離子研磨系統(tǒng)ArBlade5000

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日立ArBlade 5000離子研磨系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)高產(chǎn)量廣泛應用,并制備廣域橫截面樣品關註度。  離子研磨系統(tǒng)使用通過在表面上照射氬離子束引起的濺射效應(yīng)來拋光樣品的表面哪些領域。樣品預(yù)處理系統(tǒng)可以用于電子和材料等各個領(lǐng)域的研發(fā)和質(zhì)量控制等更讓我明白了。  與機械拋光不同積極,離子研磨系統(tǒng)處理樣品而不會變形或施加機械應(yīng)力探索。因此,用于預(yù)處理樣品的離子銑削系統(tǒng)的應(yīng)用范圍不斷擴大,不僅包括掃描電子顯微鏡(SEM)滿意度,還包括原子力顯微鏡(SPM / AFM)等情況較常見。離子銑削系統(tǒng)應(yīng)用范圍廣泛,日立高新收集了用戶在各種領(lǐng)域提供的關(guān)鍵性建議和...

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概述
產(chǎn)品參數(shù)

日立ArBlade 5000離子研磨系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)高產(chǎn)量主要抓手,并制備廣域橫截面樣品體製。

  離子研磨系統(tǒng)使用通過在表面上照射氬離子束引起的濺射效應(yīng)來拋光樣品的表面。樣品預(yù)處理系統(tǒng)可以用于電子和材料等各個領(lǐng)域的研發(fā)和質(zhì)量控制等創新科技。

  與機械拋光不同服務延伸,離子研磨系統(tǒng)處理樣品而不會變形或施加機械應(yīng)力。因此具有重要意義,用于預(yù)處理樣品的離子銑削系統(tǒng)的應(yīng)用范圍不斷擴大研究,不僅包括掃描電子顯微鏡(SEM),還包括原子力顯微鏡(SPM / AFM)等應用創新。離子銑削系統(tǒng)應(yīng)用范圍廣泛提高,日立高新收集了用戶在各種領(lǐng)域提供的關(guān)鍵性建議和改進,并將它們納入到的設(shè)計平臺的特性。

  新推出的ArBlade 5000具有混合研磨功能交流,能夠進行橫截面研磨,是日立離子研磨系統(tǒng)的標志提供堅實支撐。此功能使樣品能夠根據(jù)所需的目的和應(yīng)用進行預(yù)處理還不大。

  ArBlade 5000還具有PLUS II離子槍技術(shù)設(shè)計。這是一種新的氬離子槍信息化技術,可以實現(xiàn)了1mm/hr以上的截面銑削速度(日立高新的IM4000Plus型號的兩倍)力度。新系統(tǒng)使用戶能夠在比以前更短的時間內(nèi)準備橫截面,包括陶瓷和金屬等硬質(zhì)材料系統性,這往往需要較長的加工時間勇探新路。

  此外,日立高新開發(fā)了全新的寬區(qū)域橫截面研磨傳遞,以實現(xiàn)橫截面研磨試驗,研磨寬度為8mm,從而可以制備比以往更大的截面樣品開展攻關合作。通過與下一代氬離子槍的協(xié)同效應(yīng)製度保障,新的ArBlade 5000可以與市場上可用的任何其他離子系統(tǒng)一起制備廣域橫截面樣品。

主要特點

  1.能夠進行橫截面和平面的混合研磨系統(tǒng)的有效手段。

  2.通過PLUS II離子槍技術(shù)設(shè)計高速氬離子槍實現(xiàn)1mm/hr或更高的橫截面研磨速度統籌推進。

  3.通過使用廣域橫截面研磨,實現(xiàn)寬度達8mm的廣域加工關鍵技術。

  4.基于采用LCD觸摸面板的全新控制系統(tǒng)了解情況,增強了可操作性深入。


產(chǎn)品參數(shù)
通用
使用氣體Ar(氬)氣
加速電壓0~8 kV
截面研磨
研磨速率(材料Si)1 mm/hr*1以上含 1 mm/hr*1
研磨寬度8 mm*2
樣品尺寸20(W) × 12(D) × 7(H) mm
樣品移動范圍X ±7 mm、Y 0~+3 mm
離子束間歇加工功能標準配置
擺動角度±15°重要的、±30°開展研究、±40°
平面研磨
加工范圍φ32 mm
樣品尺寸φ50 × 25(H) mm
樣品移動范圍X 0~+5 mm
離子束間歇加工功能標準配置
旋轉(zhuǎn)速度1 r/m、25 r/m
傾斜角度0~90°
  • *1

  • Si突出遮擋板邊緣100 µm相互融合,1個小時加工深度

  • *2

  • 使用廣域截面研磨樣品座時

選配

項目內(nèi)容
高耐磨遮擋板耐磨遮擋板是標準遮擋板的2倍左右(不含鈷)
加工監(jiān)測用顯微鏡放大倍率 15×~100× 雙目型首要任務、三目型(可加裝CCD)



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