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【儀器網(wǎng) 行業(yè)應(yīng)用】真空計(jì)用于測(cè)量真空度或低于大氣壓的稀薄氣體的氣壓真正做到,是一種使用廣泛的儀表。真空計(jì)的種類有很多創新延展,適用范圍也各有不同強化意識。掌握常見的真空計(jì)種類有利于正確選擇真空計(jì)類型。
真空計(jì)可分為真空計(jì)和相對(duì)真空計(jì)兩大類基本情況。
一現場、真空計(jì)
能從液柱高度、比重等本身測(cè)得的物理量直接計(jì)算出氣體壓力的真空計(jì)生產效率。真空計(jì)測(cè)量精度較高使命責任,主要用作基準(zhǔn)量具。
1.U形管真空計(jì)
原理:在U字形的玻璃管中充以工作液(低蒸氣壓的油使用、汞)。管的一端與待測(cè)壓力的真空容器相連密度增加,另一端是封死的或開口與大氣相通有效性。根據(jù)兩邊管中的壓差所造成的液柱差可測(cè)出被測(cè)真空系統(tǒng)的壓力。
測(cè)量范圍:粗真空(105~102帕)機遇與挑戰、低真空(102~10-1帕)
2.壓縮式真空計(jì)(麥克勞真空計(jì))
原理:把待測(cè)壓強(qiáng)氣體的一部分進(jìn)行隔離并加以壓縮廣泛關註,直到壓強(qiáng)增大到可以直接測(cè)量的程度,然后根據(jù)波義耳-馬略特定律求出原來待測(cè)的壓強(qiáng)
測(cè)量范圍:低真空(102~10-1帕)集成技術、高真空(10-1~10-5帕)
二就能壓製、相對(duì)真空計(jì)
利用氣體在低壓力下的熱傳導(dǎo)、電離適應能力、粘滯性和應(yīng)變等物理特性與壓力的關(guān)系間接測(cè)量氣體壓力更優美。相對(duì)真空計(jì)能直接讀出被測(cè)壓力,使用廣泛防控,但是測(cè)量精度較低成效與經驗,測(cè)量結(jié)果與被測(cè)氣體種類和成分有關(guān),因此須用真空計(jì)標(biāo)定和校準(zhǔn)后方能用作真空測(cè)量堅實基礎。
1.電阻真空計(jì)(皮拉尼真空計(jì))
原理:真空度影響空氣的熱傳導(dǎo)性稍有不慎,從而影響正在加熱的電阻絲的溫度。因?yàn)殡娮杞z的電阻率與溫度有關(guān)等地,所以不同的真空度電阻率也會(huì)不同最為顯著,導(dǎo)致電壓發(fā)生改變尤為突出,根據(jù)電壓的變化就能換算出空氣壓強(qiáng)。
測(cè)量范圍:低真空(102~10-1帕)
2.熱陰極電離真空計(jì)(電離真空計(jì))
原理:當(dāng)氣體導(dǎo)電時(shí)環境,氣體分子與高速飛行的電子發(fā)生碰撞而電離改造層面, 碰撞的頻率與氣體分子的密度有關(guān)。密度大優勢與挑戰, 碰撞的頻率就高經驗分享,產(chǎn)生的離子也越多;而氣體分子的密度又與氣體的壓強(qiáng)有著直接關(guān)系趨勢, 因此有力扭轉, 如果能測(cè)定氣體中被電離的離子流的大小, 即可確定氣體的壓強(qiáng)相互配合。
測(cè)量范圍:高真空(10-1~10-5帕)
3.冷陰極電離真空計(jì)
原理:與熱陰極電離真空計(jì)一樣慢體驗,是利用低壓力下氣體分子的電離電流與壓力有關(guān)的特性,用放電電流做為真空度的測(cè)量智能化。不同的是冷陰極電離真空計(jì)利用的是真空中的高電壓放電現(xiàn)象科技實力,也被稱為冷規(guī)。
測(cè)量范圍:高真空(10-1~10-5帕)
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