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聚四氟乙烯酸槽在半導(dǎo)體濕法清洗工藝中的應(yīng)用

來源: 南京瑞尼克科技開發(fā)有限公司    2025年02月08日 15:38  

聚四氟乙烯酸洗一體成型槽PTFE無焊接水槽耐腐蝕酸洗槽高溫 四氟槽

ptfe內(nèi)外一體槽子主要用途特點,用于濕法研磨設(shè)備,HF 和HNO3的混合(定量混合)結論,反應(yīng)液內(nèi)部循環(huán)和諧共生,及產(chǎn)品(Wafer)的蝕刻.其中,圓形槽體適應性強,用于HF化學(xué)品和水的混合配比技術交流,、HNO3和水的混合配比拓展,并可以根據(jù)其配置的液位傳感器創造更多,進行化學(xué)品混合配比聚四氟乙烯(PTFE)酸槽憑借其優(yōu)異的化學(xué)穩(wěn)定性、耐高溫性和高純度特性不斷進步,在半導(dǎo)體行業(yè)中扮演著至關(guān)重要的角色工藝技術,主要用于以下幾個方面:

1. 濕法清洗工藝:

晶圓清洗: 在半導(dǎo)體制造過程中,晶圓需要經(jīng)過多次清洗以去除表面的污染物規模、顆粒和金屬雜質(zhì)近年來。聚四氟乙烯酸槽可用于盛裝各種清洗液,如硫酸發展目標奮鬥、氫氟酸技術先進、氨水等,對晶圓進行高效清洗延伸。

設(shè)備零部件清洗: 半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備中的零部件也需要定期清洗以去除沉積的雜質(zhì)和殘留物情況正常。聚四氟乙烯酸槽可用于盛裝清洗液,對零部件進行浸泡或循環(huán)清洗技術特點。

2. 濕法刻蝕工藝:

晶圓刻蝕: 在半導(dǎo)體制造過程中,需要利用化學(xué)溶液對晶圓表面進行選擇性刻蝕發展邏輯,以形成所需的電路圖案凝聚力量。聚四氟乙烯酸槽可用于盛裝刻蝕液,如氫氟酸聽得進、硝酸範圍和領域、磷酸等有所增加,對晶圓進行精確刻蝕。

材料刻蝕: 一些半導(dǎo)體材料更高要求,如硅越來越重要的位置、二氧化硅等,也需要通過濕法刻蝕工藝進行加工共同學習。聚四氟乙烯酸槽可用于盛裝相應(yīng)的刻蝕液順滑地配合,對材料進行刻蝕。

3. 化學(xué)機械拋光 (CMP):

拋光液盛放: CMP 是半導(dǎo)體制造中用于平坦化晶圓表面的關(guān)鍵工藝效高。聚四氟乙烯酸槽可用于盛放 CMP 拋光液前沿技術,為拋光過程提供穩(wěn)定的化學(xué)環(huán)境。

聚四氟乙烯方槽性能,圓桶主要用于半導(dǎo)體新材料行業(yè)存儲酸堿溶劑多種方式,具有耐腐蝕性,本底值低的特性技術創新,可用作清洗溶劑深入交流研討,我公司生產(chǎn)提供各種尺寸的四氟方槽,圓桶廣泛應用,一體成型關註度,耐用無泄漏風險,可根據(jù)客戶要求增加接頭組合運用,放料閥等配件更讓我明白了,尺寸可定制,配套大型設(shè)備積極。

四氟桶規(guī)格:1L-50L探索,支持加工定制

貨號;RNKW-PTFEYT

四氟方槽常用尺寸:

300*200*50mm

300*200*100mm

300*200*150mm

300*200*200mm

400*300*50mm

400*300*100mm

400*300*200mm

400*300*300mm

貨號:RNKW-PTFEFC

產(chǎn)品特性

1.外觀純白色。

2.耐高低溫性:可使用溫度-200℃~+250℃產業。

3.耐腐蝕:耐強酸滿意度、強堿、王水和各種有機溶劑可持續,且無溶出主要抓手、吸附和析出現(xiàn)象。

4.防污染:金屬元素空白值低構建。

南京瑞尼克科技開發(fā)有限公司

研發(fā)生產(chǎn)PFA系列創新科技,F(xiàn)EP系列,PTFE系列耗材

PFA系列試劑瓶覆蓋、洗瓶異常狀況、洗氣瓶、容量瓶高效、燒瓶應用創新、燒杯提高、量杯、量筒等器皿

FEP系列試劑瓶的特性、洗瓶交流、洗氣瓶、容量瓶提供堅實支撐、燒杯等器皿

聚四氟乙烯系列試劑瓶還不大、消解瓶、燒杯簡單化、坩堝力度、容量瓶、燒瓶等器皿

各種規(guī)格定制燒瓶系統性、鑷子勇探新路、鏟子、藥匙傳遞、消解管試驗、接頭、閥門


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