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電子探針是一種利用電子束作用樣品后產(chǎn)生的特征X射線進(jìn)行微區(qū)成分分析的儀器創新的技術，可以用來分析薄片中礦物微區(qū)的化學(xué)組成發揮。除H、He快速增長、Li開放以來、Be等幾個(gè)較輕元素外，還有U元素以后的元素以外都可進(jìn)行定性和定量分析高質量。
第一臺(tái)電子探針是法國制成的提供了有力支撐，是在1949年用電子顯微鏡和X射線光譜儀組合而成；1953年前蘇聯(lián)制成了X射線微區(qū)分析儀前景，以后英進一步意見、美等國陸續(xù)生產(chǎn)；第一臺(tái)掃描電子探針儀是美國于1960年制成共享應用，不僅能對(duì)試樣作點(diǎn)或微區(qū)分析生產能力，而且能對(duì)樣品表面微區(qū)進(jìn)行掃描。
電子探針顯微分析原理及其發(fā)展的初期是建立在X射線光譜分析和電子顯微鏡這兩種技術(shù)基礎(chǔ)上的示範推廣，該儀器實(shí)質(zhì)上就是這兩種儀器的科學(xué)組合堅持好。
電子探針的分析對(duì)象是固體物質(zhì)表面細(xì)小顆粒或微小區(qū)域積極參與，最小范圍直徑為1μm問題分析。電子探針可測量的化學(xué)成分的元素范圍一般從原子序數(shù)12(Mg)至92(U)培養，原子序數(shù)大于22的元素可在空氣通路的X射線光譜儀上進(jìn)行測量交流研討。
原子序數(shù)12至22的元素要在真空下進(jìn)行成分測定，原子序數(shù)12以內(nèi)的元素需要增添一些特殊設(shè)備才能分析形式。原子序數(shù)50以上的元素用L系X射線光譜進(jìn)行分析建設應用，原子序數(shù)50以下的元素也可以分析，如Sn(50)可用K系x射線光譜進(jìn)行分析日漸深入。
電子探針的靈敏度低于X射線熒光光譜儀動力，原因是電子探針X射線的本底值高于后者，但電子探針的絕對(duì)感量比其他儀器都高互動式宣講。此外效高性，后期生產(chǎn)的儀器，可作X射線背散射照相自動化、透視照相提升。能兼作透射電鏡、能進(jìn)行電子衍射意向、能作電子熒光觀察等意料之外。
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