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納米壓痕儀進入當下,被研究學(xué)家稱作納米壓入儀紮實,微納米尺度薄膜材料的硬度與楊氏的模量測試都需要用該儀器進(jìn)行運(yùn)作。除此之外新體系,像有機(jī)材料投入力度、無機(jī)材料、軟質(zhì)材料不難發現、硬質(zhì)材料也可用其進(jìn)行檢測分析貢獻法治。
納米壓痕儀的技術(shù)原理及局限性:
1、Oliver和Pharr法:這是較為常用的一種方法發展需要。硬度值可由最大加載載荷和壓痕的殘余變形面積求得攻堅克難,而試驗所測得的載荷一位移曲線,可以從卸載曲線的斜率求出彈性模量顯示。采用原始的硬度定義來進(jìn)行材料的硬度和彈性模量計算而沒有考慮納米尺度上的尺寸效應(yīng)是這個方法的不足之處雙向互動。
2、Hainsworth法:由于卸載過程通常被認(rèn)為是一個純彈性過程設計能力,可以根據(jù)卸載后的壓痕殘余變形求出材料的硬度品牌,或者從卸載曲線求出材料彈性模量。這兩個方向主要適用于超硬薄膜或各向異性材料,但缺點是材料的塑性變形假設(shè)過于簡單等形式,缺乏有力的理論支持空間廣闊。
3、梯度隨數(shù)變化理論:材料硬度H 依賴于被測材料的深度H提供深度撮合服務,有壓人壓頭之稱,并且隨著壓人深度的減小而增大的發生,因此具有尺度效應(yīng)組成部分,適用于具有塑性的晶體材料。但該方法就是無法計算材料的彈性模量新的動力。
4的過程中、體積占比量法:主要用來計算薄膜或基體組合體系的硬度,但局限于試驗研究方法像一棵樹,基體對薄膜力學(xué)性能的影響在試驗的結(jié)果上不方便排除過程中。
5、分子動力學(xué)模擬法:該方法是在原子尺度上去考慮每個原子上所受到作用力能運用、鍵合能以及晶體晶格常量達到,并運(yùn)用牛頓運(yùn)動方程來模擬原子間的相互作用結(jié)果,局限性是只適用于原子尺度不可缺少。
以上這五種原理是在各模式測試過程中會遇到的方法蓬勃發展,每一種方法都體現(xiàn)納米壓痕儀與被測材料的關(guān)系,研究人員可根據(jù)不同的條件需求積極回應,正確選取測量方法重要性。
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