1. 產(chǎn)品簡介
激光干涉儀以光波為載體系統穩定性，其光波波長可以直接對米進行定義，且可以溯源至國家標準先進技術，是高精度服務體系、高靈敏度的測量儀器，在制造領域應用廣泛搶抓機遇。
SJ6000激光干涉儀集光分析、機、電全面闡釋、計算機等技術于一體非常激烈，產(chǎn)品采用進口高性能氦氖激光器，其壽命可達50000小時引人註目；采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術領域，可實現(xiàn)高精度、抗干擾能力強好宣講、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出註入新的動力；采用高速干涉信號采集領先水平、調(diào)理及細分技術，可實現(xiàn)最高4m/s的測量速度雙重提升，以及納米級的分辨率戰略布局；采用高精度環(huán)境補償模塊，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償表現明顯更佳；采用高性能計算機控制系統(tǒng)及軟件技術狀態，支持中文、英文和俄文語言指導，友好的人機界面廣泛認同、向?qū)降牟僮髁鞒獭⒑啙嵒挠涗浌芾怼?/p>
SJ6000激光干涉儀具有測量精度高流動性、測量范圍大鍛造、測量速度快、最高測速下分辨率高等優(yōu)點追求卓越，結(jié)合不同的光學鏡組逐漸完善，可實現(xiàn)線性測長、角度合理需求、直線度是目前主流、垂直度、平行度高質量、平面度等幾何參量的高精度測量充分發揮。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下，可實現(xiàn)線性位移共創美好、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測推動並實現，以及進行位移、速度覆蓋範圍、加速度優化程度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析奮勇向前、絲桿導軌的動態(tài)特性分析不斷豐富、驅(qū)動系統(tǒng)的響應特性分析等。
2.產(chǎn)品配置
SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件組建，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件各有優勢。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組重要的意義、角度鏡組持續、直線度鏡組、垂直度鏡組再獲、平面度鏡組產品和服務、自動精密轉(zhuǎn)臺應用擴展。
其中，線性鏡組為標配前景，由線性干涉鏡進一步意見、線性反射鏡和夾緊孔座構成」蚕響?？蓾M足線性位移設備的定位精度、重復定位精度標準、反向間隙的測量與分析示範推廣，以及反向間隙修正和螺距補償。
二.工作原理
激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡即將展開，然后分成兩道光束大幅增加，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束（測量光束）則通過分光鏡射入第二個反射鏡傳承，這兩道光束再反射回到分光鏡等特點，重新匯聚之后返回激光器，其中會有一個探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉（見圖）多種。若光程差沒有變化時將進一步，探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。
若光程差有變化時用上了，探測器會在每一次光程變化時提升行動，在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號，這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化關註。
三. 產(chǎn)品功能特點
◆精度高
SJ6000激光干涉儀以干涉技術為核心研究進展，其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術連日來，可實現(xiàn)高精度快速融入、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出系統；采用高精度環(huán)境補償模塊增強，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償；干涉鏡與主機分離設計形式，避免干涉鏡受熱影響置之不顧，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。
◆功能廣
● 可實現(xiàn)線性數字化、角度方便、直線度、垂直度各領域、平行度應用領域、平面度保持競爭優勢、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量；
● 可檢測數(shù)控機床發展機遇、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度長效機製、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角全技術方案、扭擺角分享、直線度、垂直度等信息化；
● 可實現(xiàn)龍門機床雙軸同步測量方式之一；
● 可實現(xiàn)對機床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準；
● 可根據(jù)用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表新型儲能，為設備誤差修正提供依據(jù)創新能力；
● 具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析範圍、速度分析廣度和深度、加速度分析、振幅和頻率分析等引領作用，可進行振動分析加強宣傳、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應特性分析等效率和安；
● 支持手動或自動進行環(huán)境補償設計能力。、
◆軟件強
● 友好的人機界面深入開展；
● 豐富的應用功能模塊更為一致；
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● 簡潔化的記錄管理；
● 支持中文技術的開發、英文和俄文界面研究與應用；
● 支持企業(yè)專屬模板定制。
