芬蘭PICOSUN公司是ALD技術(shù)發(fā)明人TuomoSuntola創(chuàng)立的，與Picosun專家隊伍被稱為ALD的

芬蘭PICOSUN公司是ALD技術(shù)發(fā)明人Tuomo Suntola創(chuàng)立的生產體系，與Picosun專家隊伍被稱為ALD的服務。

Suntola于1974年發(fā)明ALD技術(shù)很重要，因此獲得半導(dǎo)體行業(yè)European SEMI 2004獎。

PICOSUN公司憑借其杰出的生產(chǎn)型與科研型產(chǎn)品覆蓋，于2022年6月加入美國應(yīng)用材料公司異常狀況。

PICOSUN產(chǎn)品分為科研型與生產(chǎn)型。

科研型產(chǎn)品有：

標準型PICOSUN™ R-200 Standard高效，只有熱法原子層沉積系統(tǒng)

高級型PICOSUN™ R-200 Advanced應用創新，有熱法原子層沉積系統(tǒng)與等離子體增強原子層沉積系統(tǒng)

高級型ALD可以添加前沿的微波等離子體輔助增強模塊Microwave Plasma, 這種微波等離子體增強原子層沉積系統(tǒng)在顆粒、薄膜致密性表現(xiàn)更好機構，同時有可能沉積具有挑戰(zhàn)性的一些氮化物薄膜的特性，如氮化硅等。