P 系列粉末原子層沉積系統(tǒng)
粉末包覆可有效提升材料性能與使用壽命，如鋰電正極或負極材料堅實基礎，經(jīng)過表面包覆處理后在放電性能及循環(huán)使用壽命方面都有明顯提升稍有不慎，但目前工業(yè)的包覆手段以機械混合的干法為主，該方法包覆均勻性較差等地，性能提升有限最為顯著。ALD 技術可實現(xiàn)高精度及均勻包覆，是理想的包覆手段規定。Forge Nano 針對粉末類材料比表面積大的特點環境，采用流化床技術實現(xiàn)粉末材料的流化，從而保證前驅(qū)體與粉末實現(xiàn)充分的接觸高質量。P 系列粉末原子層沉積系統(tǒng)是 Forge Nano 針對工業(yè)包覆研發(fā)的粉末 ALD 負載系統(tǒng)優勢與挑戰，可實現(xiàn) kg 級粉末批量包覆，是工業(yè)生產(chǎn)前理想的研發(fā)工具解決方案。
產(chǎn)品規(guī)格【原子層沉積多少錢】
1. 前驅(qū)體通道：2-8
2. 腔室容量：0-600ml
3. 反應器溫度：450℃
4. 最高工藝溫度：200℃
5. 振動流化床反應器
6. 模塊：流化輔助，質(zhì)譜有力扭轉，臭氧發(fā)生器上高質量，等離子體發(fā)生器
產(chǎn)品特點
P 系列是 Forge Nano 專為粉末 ALD 開發(fā)的研發(fā)級工具，可輕松實現(xiàn) kg 的粉末包覆慢體驗。使用流化床技術可保證粉末在反應器中的分散著力增加，有利于前驅(qū)體擴散。
流化輔助
粉末在長時間存放或流化不充分時容易出現(xiàn)團聚科技實力，導致無法形成理想的流化態(tài)處理。因此利用流化輔助模塊，高剪切氣流以及振動反應器的設計可沖散團聚顆粒在此基礎上，確保分散效果助力各行。
分區(qū)加熱
所有前驅(qū)體源均可獨立加熱，保證運輸條件自主研發，這對于部分低蒸汽壓的前驅(qū)體以及敏感的基底材料非常重要確定性。P 系列也擁有*的閥門控制系統(tǒng)，可以實現(xiàn)多通道前驅(qū)體輸運損耗。
在線監(jiān)測
P 系列配置了氣體在線分析系統(tǒng)講故事，對 ALD 工藝的改善有較大幫助，使用者可通過氣體成分判斷反應的完成度性能穩定。
應用
鋰電池：鋰電正極或負極材料的包覆可有效提升其放電性能及使用壽命全面革新。常見的 NCM 與磷酸鐵鋰，在表面包覆 Al2O3 等氧化物薄膜后情況正常，在經(jīng)過多次放電后行業分類，仍可保持較高的能量密度技術特點。
3D 打印：3D 打印粉末存在腐蝕及表面氧化的問題數據顯示，會影響最終器件的性能高質量。通過表面涂層改性，可有效延緩氧化及腐蝕記得牢。傳統(tǒng)的包覆方式是在器件表面進行 ALD 沉積註入了新的力量，但對于 3D 打印粉末，直接對原材料粉末改性無疑是更有效的手段更多可能性。
催化：催化反應大多數(shù)是發(fā)生在材料表面的界面反應去創新，因此對于催化劑材料進行表面構(gòu)筑改性是有效的性能提升手段。利用 ALD 可以直接在粉末緊迫性，纖維材料表面生長高活性納米涂層結構，另一種方法是利用模板法結(jié)合 ALD 在表面構(gòu)筑特定結(jié)構(gòu)，暴露活性位點高效。此外溝通協調，也可以在特定的顆粒表面進行表面包覆，防止催化劑燒結(jié)團聚全方位。
