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返回產(chǎn)品中心>主要應用:半導體生產(chǎn)過程中的溫度測量如:RTA了解情況、RTP深入、CVD等工藝。
RTP紅外測溫儀特點
兩種光學采集系統(tǒng)可供選擇: 光導型重要的、透鏡型
光導型的優(yōu)點:直徑小開展研究,僅通過很小的通光孔徑,能夠從大視場角度收集輻射能量問題分析,采集到極限低溫信號培養。
透鏡型:適合遠距離測量小目標或透過觀察窗測量目標溫度。
短波長實現(xiàn)低溫目標溫度測量
嚴謹科學的設計更加完善、可實現(xiàn)10 -13 A的信號的放大形式;實現(xiàn)短波長測量低溫目標的能力;短波長顯著降低發(fā)射率造成的測量誤差支撐作用,是許多應用的理想選擇日漸深入,如半導體工業(yè)中硅片的溫度測量。
溫度分辨可達0.01℃
嚴謹?shù)碾娐吩O計使得電噪聲更小同時,可實現(xiàn)低溫目標的準確測量互動式宣講。高溫度分辨力使得溫度控制過程更加平穩(wěn)。
測量速度高達1Khz(1ms)
該系列測溫儀可以提供每分鐘一個讀數(shù)直至每秒1000個讀數(shù)模式,客戶可按需選擇自動化。此外,測溫儀執(zhí)行所有內部的A/D轉換高品質,每臺儀器提供一個數(shù)字信號輸出不折不扣。
寬范圍的溫度測量能力
高精的電子元器件及光路設計使得測溫儀測溫范圍更寬,可以實現(xiàn)從室溫(25℃)到4000℃ 的高溫測量資源優勢。
低漂移
的元器件選擇和設計有效減少電子器件中的漂移有效保障,測溫儀實現(xiàn)溫漂不高于 0.1 ºC / 年。
精巧易安裝長效機製,不再依賴光纖
小尺寸講實踐、高性能使得測溫儀能夠在離熱源足 夠近的地方測溫,且不再需要長柔性光纖元件奮戰不懈。在需要光纖的應用中市場開拓, 迪凱的產(chǎn)品仍然具有顯著優(yōu)勢措施,可提供全系列柔性石英光纖,以滿足不同使用現(xiàn)場需求要落實好。
基本參數(shù)
測量溫度范圍 100-1300℃
測量精度:±1.5℃/0.15%讀數(shù)
重復精度:±0.10℃
分辨率: 0.01℃
響應時間:1ms
通光孔徑: 2mm(其它可選)
電氣參數(shù)
數(shù)字輸出:RS422
模擬輸出:無
操作參數(shù)及執(zhí)行標準
防護等級:IP65
工作溫度:10-60℃
存儲溫度:-20-70℃
相對濕度:10-95%,無結露
抗擾標準:JB/T9233.11-1999
抗沖擊: GB/T2423.1,GB/T2423.2
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