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氣體質(zhì)量流量控制器

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SRDE氣體質(zhì)量流量控制器概要:

氣體質(zhì)量流量控制器是一種計(jì)測(cè)和控制流體流量的裝置的可能性。流體的流量計(jì)測(cè)通巢灰窇??煞譃轶w積流量和質(zhì)量流量。體積流量由于受到計(jì)測(cè)時(shí)環(huán)境溫度和壓力的影響問題,如需要準(zhǔn)確測(cè)定時(shí)逐漸顯現,必須對(duì)溫度和壓力進(jìn)行調(diào)整。而質(zhì)量流量計(jì)在測(cè)定流體質(zhì)量的時(shí)候系統穩定性,不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準(zhǔn)確地進(jìn)行流體測(cè)量拓展基地。在必須對(duì)流量進(jìn)行精確計(jì)測(cè)和控制的領(lǐng)域,質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用實力增強,例如半導(dǎo)體工業(yè)體系流動性、太陽(yáng)能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。

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