取水流量

三級水：1.5L/min    一級水：1.0~1.5L/min

造水速度

5L/hr-10L/hr-20L/hr-30L/hr-40L/hr-120L/hr

取水水質

三級：電阻率0.2~0.5MΩ.cm@25℃置之不顧，符合GB6682-2006的三級水規(guī)定不斷完善。

超純水：電阻率>10-16MΩ.cm@25℃

可溶性硅[以（SiO2）計]mg/L<0.01；TOC:＜30ppb

顆粒（<0.22μm/mL）<0.1個

重金屬（mg/L）<0.01

電阻率檢測儀:電常數(shù)0.01cm-1,溫度靈敏度0.1℃