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詳細(xì)信息產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)垂直量程:±25μm、±200μm系統(tǒng)分辨率:滿量程8納米顯示分辨率:0

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詳細(xì)信息
產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)

垂直量程:±25μm新品技、±200μm

系統(tǒng)分辨率:滿量程8納米

顯示分辨率:0.001μm

針尖半徑:2μm或5μm

濾波方式:GAUSS範圍、2RC廣度和深度、ISO13565

標(biāo)準(zhǔn):IOS1997、ANSI引領作用、JIS2001

取樣長(zhǎng)度:L/驅(qū)動(dòng)速度Vt

L=0.08mm/Vt=0.25mm/s

L=0.25mm/Vt=0.25mm/s

L=0.8mm/Vt=0.5mm/s

L=2.5mm/Vt=1mm/s

返程速度均為1mm/s

評(píng)定長(zhǎng)度Ln:Ln=(1-5)L

示值誤差/示值重復(fù)性:10%/6%

測(cè)量參數(shù):Ra顯示、Rp、Rv效率和安、Rt設計能力、Rz、Rq深入開展、Rsk更為一致、Rku、Rc技術的開發、Rpc研究與應用、Rsm、Rmr(C)更高效、tp全面協議、Rmr、Rpm具體而言、Rz1max工具、RzJIS、Rmax喜愛、Htp重要的角色、Rδc、RΔq向好態勢、RΔa平臺建設、Rk、Rpk貢獻力量、Rvk使用、Mr1、Mr1發行速度、A1更加堅強、A2

工作環(huán)境:溫度0℃ ~ 40℃;濕度< 90% RH

存儲(chǔ)環(huán)境:溫度-40℃ ~ 60℃奮勇向前;濕度< 90% RH

外形尺寸和重量:156×75×53mm,760g

傳感器驅(qū)動(dòng)套:29×26×120mm

標(biāo)準(zhǔn)配置

主機(jī)不斷豐富;傳感器;驅(qū)動(dòng)器規劃;充電器擴大公共數據;樣塊;

可選附件:其他傳感器帶動擴大;測(cè)量平臺(tái)核心技術體系;

操作示意圖


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