蔡司EVO系列模塊化的SEM平臺(tái)適用于直觀操作要落實好、例行檢測(cè)和研究應(yīng)用EVO系列將高性能的掃描電鏡和直觀的緊密相關、友好的用戶界面體驗(yàn)結(jié)合在一起，同時(shí)能夠吸引經(jīng)驗(yàn)豐富的用戶以及新用戶

蔡司 EVO 系列

模塊化的 SEM 平臺(tái)適用于直觀操作先進技術、例行檢測(cè)和研究應(yīng)用

EVO系列將高性能的掃描電鏡和直觀的培訓、友好的用戶界面體驗(yàn)結(jié)合在一起， 同時(shí)能夠吸引經(jīng)驗(yàn)豐富的用戶以及新用戶宣講手段。無(wú)論是在生命科學(xué)重要工具， 材料科學(xué)， 或例行的工業(yè)質(zhì)量保證和失效分析領(lǐng)域全面闡釋，憑借廣泛的可選配置非常激烈， EVO 都可以根據(jù)您的要求量身定制。

＞ 顯微鏡中心或工業(yè)質(zhì)量保證實(shí)驗(yàn)室的多功能解決方案

＞ 不同的真空室大小和可滿足所有應(yīng)用要求的載物臺(tái)選項(xiàng)-甚至是大型工業(yè)零部件樣品

＞ 使用LaB6燈絲引人註目，能夠得到優(yōu)異的圖像質(zhì)量

＞ 對(duì)不導(dǎo)電和無(wú)導(dǎo)電涂層的樣品的成像和分析性能出色

＞ 可以配置多種分析探測(cè)器用于滿足各種顯微分析應(yīng)用的需求

優(yōu)勢(shì)

▲便捷的可用性

SmartSEM Touch可以通過使用您的指尖與其進(jìn)行交互式工作流程控制領域。它簡(jiǎn)單易學(xué)， 大大減少了培訓(xùn)所付出的努力和成本好宣講，甚至新用戶在幾分鐘內(nèi)也能夠捕捉令人驚嘆的圖像技術發展。此用戶界面還支持需要自動(dòng)化工作流程以執(zhí)行可重復(fù)檢查任務(wù)的工業(yè)操作員效高性。

▲優(yōu)異的圖像質(zhì)量

EVO 擅長(zhǎng)于對(duì)未經(jīng)處理和沒有導(dǎo)電涂層的樣品獲取高質(zhì)量的數(shù)據(jù)取得明顯成效。EVO 還允許樣品保留其原始狀態(tài)大幅增加， 維持含水和重污染樣品的數(shù)據(jù)質(zhì)量。此外當(dāng)成像和微量分析面臨挑戰(zhàn)時(shí)事關全面，選用LaB6燈絲則能夠給予更好的分辨率表現明顯更佳、 對(duì)比度和信噪比。

▲EVO 能夠與其它設(shè)備相關(guān)聯(lián)

EVO可以作為半自動(dòng)技術節能、多模式工作流程的一部分指導，通過重新定位感興趣區(qū)域，并以多種方式收集數(shù)據(jù)聯動，形成信息的完整性增持能力。將光學(xué)和電子顯微鏡圖像合并起來進(jìn)行材料表征或零件檢驗(yàn)，或者將 EVO 與蔡司光學(xué)顯微鏡相關(guān)聯(lián)行業內卷，進(jìn)行關(guān)聯(lián)顆粒度分析追求卓越。

適合更多用戶操作

對(duì)于經(jīng)驗(yàn)豐富的以及新手用戶操作都很方便

在實(shí)際的實(shí)驗(yàn)室環(huán)境中，SEM 的操作通常是顯微鏡專家的專屬領(lǐng)域參與能力。但是對(duì)于非專家級(jí)用戶來說合理需求，操作SEM就變得具有挑戰(zhàn)是目前主流，比如學(xué)生、受訓(xùn)者或質(zhì)量工程師高質量，他們往往也需要從 SEM獲取數(shù)據(jù)充分發揮。 EVO 則同時(shí)考慮了這兩類用戶的需求，用戶界面選項(xiàng)既能滿足有經(jīng)驗(yàn)的顯微鏡專家也能滿足非專業(yè)用戶的操作需要管理。

▲專家用戶

優(yōu)選用戶界面: SmartSEM

專家用戶可以獲取以及設(shè)定高級(jí)的成像參數(shù)和分析功能設計。

SmartSEM: 為有經(jīng)驗(yàn)用戶使用的控制界面

▲新手用戶

優(yōu)選用戶界面: SmartSEM Touch

新手用戶可以使用預(yù)定義的工作流程和常用的一些參數(shù)-非常適合初學(xué)者。

SmartSEM Touch: 是一款在觸摸屏電腦上運(yùn)行的簡(jiǎn)化圖形用戶界面 

智能導(dǎo)航與成像

大大提高樣品的測(cè)試效率改進措施，以及更多的數(shù)據(jù)產(chǎn)出

  ▲蔡司導(dǎo)航相機(jī)

相機(jī)可以安裝在倉(cāng)室前方優化程度， 以監(jiān)測(cè)樣品與背散射探測(cè)器以及物鏡底端之間的相對(duì)位置(倉(cāng)室相機(jī))；或安裝在真空室倉(cāng)門上方 (導(dǎo)航相機(jī))奮勇向前， 利用俯視圖查看樣品臺(tái)上樣品的擺放位置不斷豐富。此視圖可用于設(shè)置從光學(xué)顯微鏡圖像中識(shí)別出的預(yù)定義位置， 并在整個(gè)樣品測(cè)試過程中輕松導(dǎo)航組建。

   ▲自動(dòng)化智能成像

EVO實(shí)現(xiàn)了對(duì)樣品批量自動(dòng)各有優勢、無(wú)人值守的圖像采集。蔡司自動(dòng)化智能成像非常適合例行檢測(cè)重要的意義。它使用戶能夠自定義邊界區(qū)域持續，自動(dòng)生成所需的視圖或放大倍數(shù)確定的感興趣區(qū)域，并開始自動(dòng)獲取圖像再獲。自動(dòng)化智能成像將大大提高樣品的測(cè)試效率高質量，以及更多的數(shù)據(jù)產(chǎn)出。

將您的研究提升一個(gè)層次

使用六硼化鑭電子發(fā)射器能夠獲得更好的圖像

六硼化鑭陰極相較于傳統(tǒng)的鎢發(fā)夾燈絲所發(fā)射的電子能夠保證您額外所需要的圖像質(zhì)量激發創作。這種優(yōu)勢(shì)體現(xiàn)在以下兩個(gè)方面:

＞ 在相等電子探針尺寸 (即分辨率) 下， 有更多探針電流可供使用進一步意見， 從而使圖像導(dǎo)航和優(yōu)化更容易

＞ 在相等的探針電流 (信噪比) 下增幅最大， 光斑直徑要小得多， 從而提高了圖像分辨率

EVO 能夠與其它設(shè)備相關(guān)聯(lián)

工作流程自動(dòng)化和關(guān)聯(lián)顯微鏡的好處

 ▲Shuttle & Find 將EVO生產能力、光學(xué)顯微鏡和數(shù)碼顯微鏡組成一個(gè)關(guān)聯(lián)的標準、多模態(tài)工作流程

由于蔡司是各種類型顯微鏡和計(jì)量系統(tǒng)的優(yōu)秀供應(yīng)商， 所以您還可以將EVO 與蔡司其它解決方案相結(jié)合堅持好，使其功能能夠發(fā)揮得更好即將展開。

通過使用Shuttle & Find（蔡司關(guān)聯(lián)顯微鏡的軟硬件部分），您可以在（數(shù)碼）光學(xué)顯微鏡和 EVO 之間建立一個(gè)高效的多模式聯(lián)用的工作流程特性。將光學(xué)顯微鏡的光學(xué)對(duì)比方法與同樣的掃描電鏡成像和分析方法相結(jié)合傳承， 獲得互補(bǔ)的數(shù)據(jù)， 從而更清楚地去了解樣品的材料建言直達、質(zhì)量或失效機(jī)理多種。

型號(hào)：EVO 10
EVO系列電鏡是高性能將進一步、功能強(qiáng)大的高分辨應(yīng)用型掃描電子顯微鏡。該系列電鏡采用多接口的大樣品室和藝術(shù)級(jí)的物鏡設(shè)計(jì)發展成就，提供高低真空成像功能成就，可對(duì)各種材料表面作分析，并且具有業(yè)界的X射線分析技術(shù)關註。革命性的Beamsleeve的設(shè)計(jì)研究進展，確保在低電壓條件下提供高分辨率的銳利圖像，同時(shí)還可以進(jìn)行準(zhǔn)確的能譜分析連日來。樣品臺(tái)為五軸全自動(dòng)控制快速融入。標(biāo)準(zhǔn)的高效率無(wú)油渦輪分子泵能夠滿足快速的樣品更換和無(wú)污染(免維護(hù))成像分析。
 掃描電鏡(SEM)廣泛地應(yīng)用于金屬材料(鋼鐵意向、冶金意料之外、有色、機(jī)械加工)和非金屬材料(化學(xué)形式、化工置之不顧、石油、地質(zhì)礦物學(xué)數字化、橡膠方便、紡織、水泥各領域、玻璃纖維)等檢驗(yàn)和研究應用領域。在材料科學(xué)研究、金屬材料進行培訓、陶瓷材料發展機遇、半導(dǎo)體材料、化學(xué)材料等領(lǐng)域進(jìn)行材料的微觀形貌法治力量、組織全技術方案、成分分析，各種材料的形貌組織觀察共享，材料斷口分析和失效分析信息化，材料實(shí)時(shí)微區(qū)成分分析，元素定量生動、定性成分分析新型儲能，快速的多元素面掃描和線掃描分布測(cè)量，晶體新品技、晶粒的相鑒定範圍，晶粒尺寸、形狀分析好宣講，晶體註入新的動力、晶粒取向測(cè)量領先水平。
 鎢燈絲掃描電子顯微鏡EV0 10技術(shù)參數(shù)

1、光學(xué)系統(tǒng)

1.1效率和安、發(fā)射源：鎢燈絲設計能力。可選擇普通燈絲或預(yù)對(duì)中式燈絲深入開展。具有自動(dòng)電子槍啟動(dòng)更為一致，自動(dòng)對(duì)中，自動(dòng)選擇電子槍偏壓功能技術的開發。

1.2研究與應用、聚焦：具有手動(dòng)及自動(dòng)聚焦功能。

1.3更高效、光闌：三級(jí)可調(diào)物鏡光闌全面協議，能快速對(duì)光闌孔定位，并可作電子束自動(dòng)對(duì)中具體而言。

1.4工具、加速電壓：0.2 - 30kV，10V步進(jìn)連續(xù)可調(diào)喜愛。

1.5重要的角色、電子束位移：±20µm。

1.6向好態勢、放大倍數(shù)：7 - 1,000,000×

1.7平臺建設、分辨率：3.0nm @ 30kV（SE）

             8.0nm @ 3kV（SE）

1.8、探針電流范圍：0.5 pA - 5 μA貢獻力量，連續(xù)可調(diào)使用。

2、真空系統(tǒng)

2.1發行速度、真空泵系統(tǒng)：渦輪分子泵+機(jī)械泵優化程度，不需要冷卻水。

2.2奮勇向前、真空度：真空度：優(yōu)于2×10^-4Pa；

2.3實施體系、抽真空時(shí)間：小于3分鐘組建。

3、樣品室

3.1效果較好、樣品室類型：高剛性重要的意義、圓形、厚壁開拓創新，大樣品室持續發展。

3.2必然趨勢、樣品室內(nèi)部尺寸：310mm（φ）×220mm（h）。

3.3擴大、可放置的樣品尺寸：直徑230mm多樣性，高度100mm

3.4、允許樣品重量：不小于5kg新格局。

3.5明顯、樣品臺(tái)移動(dòng)方式：5軸電動(dòng)計(jì)算機(jī)優(yōu)中心。

3.6顯示、樣品臺(tái)移動(dòng)范圍：X=80mm, Y=100mm, Z=35mm, T= -10° - 90°, R =360°創新為先。

3.7、樣品臺(tái)具有接觸報(bào)警與自動(dòng)停止功能科普活動。

3.8創新延展、具備樣品位置感知功能。

3.9長期間、X射線分析條件：出射角 35度基本情況；

4.0、分析工作距離：8.5 – 20 mm綠色化發展。

4至關重要、探測(cè)、成像系統(tǒng)

4.1用上了、高真空二次電子探測(cè)器提升行動。

4.2、背散射電子探測(cè)器（選配）關註。

4.3研究進展、具有X射線能譜儀接口。

4.4連日來、探測(cè)器成像模式：同時(shí)對(duì)二次電子和背散射電子成像快速融入，可用分屏方式同時(shí)顯示兩種圖像，并可在一種圖像中任意位置顯示另外一種圖像系統。

4.5增強、掃描方式：全屏、選區(qū)交流等、定點(diǎn)更優美、線掃描、線輪廓防控、掃描旋轉(zhuǎn)成效與經驗、傾斜補(bǔ)償。

4.6、整機(jī)系統(tǒng)控制要求獨(dú)立控制單元稍有不慎，為檢修提供方便重要作用。

4.7、圖像解析度：32k x 24k像素（）最為顯著。

4.8尤為突出、圖像控制：電子光學(xué)性能與易用性相結(jié)合的OptiBeam模式（分辨率模式、景深模式穩定、分析模式改造層面、視場(chǎng)模式）。

4.9優勢與挑戰、操作系統(tǒng)：Windows 7經驗分享，靈活易用的SmartSEM掃描電鏡操作控制軟件。

4.10趨勢、顯示器：24" TFT

可選附件

電鏡可選附件用于增強(qiáng)和拓展電子顯微鏡功能有力扭轉，具體產(chǎn)品涵蓋了從樣品制備到成像、分析等所有步驟的需求一站式服務。應(yīng)用范圍包括材料科學(xué)廣度和深度、生命科學(xué)、地球物理學(xué)引領作用、電子學(xué)加強宣傳，能源科學(xué)等領(lǐng)域。