SuperView W1光學3D表面輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理智能設備、結(jié)合精密Z向掃描模塊不可缺少、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析特點，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D積極回應、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器又進了一步。

　　SuperView W1光學3D表面輪廓儀可廣泛應(yīng)用于半導體制造及封裝工藝檢測多種場景、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工規劃、微納材料及制造擴大公共數據、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天發行速度、工更加堅強、科研院所等領(lǐng)域中與時俱進⌒阅?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面綜合運用，從納米到微米級別工件的粗糙度供給、平整度、微觀幾何輪廓實事求是、曲率等進行探討，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標準共計300余種2D落到實處、3D參數(shù)作為評價標準。

二最新、    產(chǎn)品功能

1）系統(tǒng)光源及壽命：雙LED光源（白光和綠光）技術創新，10萬小時超長壽命，終身無需更換重要作用；

2）測量模式：垂直掃描干涉模式（VSI）持續向好，相移干涉模式（PSI），結(jié)合VSI和PSI的自適應(yīng)通用測量模式（USI）

3）多區(qū)域自動分析：自動獲取圖案化形貌區(qū)域的三維信息（高度發展基礎、寬度兩個角度入手、面積、體積同期、粗糙度生產效率、傾角等），同時具有自動統(tǒng)計分析功能效果。提供軟件截圖使用；

4）具備各種類型樣品表面微觀形貌的3D輪廓重建與測量功能；

5）具備表面粗糙度和微觀輪廓的檢測功能長期間，粗糙度范圍涵蓋0.1nm到數(shù)十微米的級別基本情況；

6）具備校平、去除形狀高端化、去噪力量、濾波等數(shù)據(jù)處理功能；

7）具備粗糙度分析提單產、輪廓分析深入實施、結(jié)構(gòu)分析、功能分析等表面參數(shù)分析功能發展空間；

8）具備自動對焦效果、自動測量、自動多區(qū)域測量足了準備、自動拼接測量等自動化功能合作關系；

9）具備一鍵分析、多文件分析等快速深刻內涵、批量分析功能傳遞；

10）具備word、excel等數(shù)據(jù)報表導出功能深入闡釋。

三相關性、    應(yīng)用領(lǐng)域

　　對各種產(chǎn)品引領、部件和材料表面的平面度規則製定、粗糙度互動講、波紋度開拓創新、面形輪廓、表面缺陷優勢與挑戰、磨損情況經驗分享、腐蝕情況、孔隙間隙解決問題、臺階高度尤為突出、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析環境。

應(yīng)用范例：

半導體.拋光硅片空間載體、減薄硅片、晶圓IC
3C電子.藍寶石玻璃粗糙度相對簡便、手機金屬殼模具瑕疵重要組成部分、手機油墨屏高度差
超精密加工.光學透鏡	精密加工.發(fā)動機葉片
精密加工.金字塔型金剛石磁頭	標準樣塊.單刻線臺階、多刻線粗糙度

 

四合作、性能特色

1.高精度勃勃生機、高重復性

1）采用光學干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和優(yōu)異的3D重建算法組成測量系統(tǒng)極致用戶體驗，保證測量精度高提供有力支撐；

2）的隔振系統(tǒng)，能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動建議，消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲品率，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用，獲得的測量重復性不斷發展。

2.一體化操作的測量分析軟件

1）測量與分析同界面操作積極影響，無須切換，測量數(shù)據(jù)自動統(tǒng)計緊密協作，實現(xiàn)了快速批量測量的功能越來越重要；

2）可視化窗口，便于用戶實時觀察掃描過程發揮重要作用；

3）幾何分析醒悟、粗糙度分析、結(jié)構(gòu)分析高質量、頻率分析也逐步提升、功能分析五大功能模塊齊全；

4）一鍵分析智能設備、多文件分析不可缺少，自由組合分析項保存為分析模板蓬勃發展，批量樣品一鍵分析特點，并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計圖表功能提高鍛煉；

5）可測依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標準的多達300余種2D、3D參數(shù)凝聚力量。

3.精密操縱手柄

　　集成X有所提升、Y、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄新的力量，可快速完成載物臺平移先進水平、Z向聚焦、找條紋等測量前工作全面展示。

 4.雙重防撞保護措施

　　除初級的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進行防撞保護外重要平臺，另在Z軸上設(shè)計有機械電子傳感器，當鏡頭觸碰到樣品表面時核心技術，儀器自動進入緊急停止狀態(tài)應用提升，限度的保護儀器，降低人為操作風險創造性。

5.雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

　　既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標配空壓機發展的關鍵，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作。

五規模設備、應(yīng)用案例：

六真諦所在、樣品測試報告：

　　點擊表格內(nèi)圖片或文字可查看詳細報告數(shù)據(jù)