接觸速度（Z 方向）

0.1 至 1 mm/s

測桿長度

175 mm, 350 mm

測量速度（文本）

0.2 mm/s 至 4 mm/s

針尖半徑

25

掃描長度末尾（X 方向）

200 mm

分辨率

Z 方向緊密協作，相對探針針頭：
0.38 µm（350 mm 測桿）/ 0.19 µm（175 mm 測桿）

Z 方向，相對測量系統(tǒng)：
0.04 µm

掃描長度開始（X 方向）

0.2 mm

取樣角

在平滑表面上線上線下，取決于偏差：
后緣高至 88°發揮重要作用，前緣高至 77°

定位速度（文本）

X 方向返回速度：0.2 至 8 mm/s
Z 方向：0.2 至 10 mm/s

導(dǎo)塊偏差

< 1 µm（200 mm 以上）

測量原則

探針法

輸入

R 測頭，MFW 250
光學(xué)測頭 Focodyn*數據顯示、LS 1*高質量、LS 10*
（*僅結(jié)合 PGK 或 GD 120 CNC 驅(qū)動裝置）

測量范圍 mm

(in Z) 50 mm
MFW 250: ±25 µm，±250 µm全面革新，（*高 ±750 µm）作用；±1000 µin，±10,000 µin（*高 ±30,000 µm）

掃描長度（文本）

自動行業分類；0.56 mm；1.75 mm提高鍛煉；5.6 mm發展邏輯；17.5 mm，56 mm有所提升，
（.022 / .070 / .224 / .700 / 2.240 英寸）聽得進，
測量至擋塊，可變

采樣長度數(shù)量符合 ISO/JIS

1 至 50（默認：5）

測量力 (N)

1 mN 至 120 mN 左右
（可在 MarSurf XC 20 中設(shè)置）