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下降法晶體生長爐氟化鎂晶體爐

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下降式晶體生長爐技術(shù)規(guī)格書一·設(shè)備用途:主要用于LED半導體、太陽能等工業(yè)晶體的提純實現了超越、制備

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  • 下降式晶體生長爐

    技術(shù)規(guī)格書

    一·設(shè)備用途:

    主要用于LED半導體、太陽能等工業(yè)晶體的提純去完善、制備橋梁作用。

    二·設(shè)備特點:

    本設(shè)備采用一體化設(shè)計,立式鐘罩式結(jié)構(gòu)求索,爐膛材料采用優(yōu)質(zhì)的氧化鋁多晶纖維真空吸附制成讓人糾結,節(jié)能50%,爐體采用雙層爐殼結(jié)構(gòu)穩定發展,雙層爐殼之間裝有風機至關重要,可以快速升降溫,爐殼表面溫度低,**整潔大方的發生。

    三·主要技術(shù)參數(shù)

    1.**使用溫度:1600℃

    2.控溫區(qū):兩區(qū)(一區(qū)高溫區(qū)組成部分,一區(qū)輔助加熱區(qū))

    3.功率:                          15Kw±10%單相

    4.發(fā)熱材料:硅鉬棒(高溫區(qū))電阻絲(輔助加熱區(qū))

    5.恒溫區(qū)間:200mm(高溫區(qū))

    6.爐膛內(nèi)徑:120mm

    7.測溫系統(tǒng):                   熱電偶

    8.控溫精度:                   ±1℃

    9.坩堝升降:位移行程 300mm

    慢速升降0.1-10mm/h(伺服控制)精度±0.01mm

              快速升降50-200mm/min(伺服控制)

    坩堝旋轉(zhuǎn):坩堝轉(zhuǎn)速 1~50RPM


    四、結(jié)構(gòu)組成

    1新的動力、爐體及爐體升降機構(gòu)

    2的過程中、坩堝升降旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)

    3、變壓器及聯(lián)接電纜

    4廣泛關註、 溫控系統(tǒng)

    五促進進步、結(jié)構(gòu)說明

    1、爐體及爐體升降系統(tǒng):爐體殼體采用優(yōu)質(zhì)冷軋鋼板雙層結(jié)構(gòu)設(shè)計技術(shù)優勢領先,殼體顏色漆經(jīng)過高溫烘烤而成迎來新的篇章,經(jīng)久耐用,爐膛采用高純氧化鋁多晶體纖維材料推動並實現,分兩區(qū)***控溫空白區,高溫區(qū)采用優(yōu)質(zhì)硅鉬棒為加熱元件,輔助溫區(qū)采用優(yōu)質(zhì)電阻絲為加熱元件信息化,兩個溫區(qū)之間形成溫度梯度形勢,從而保證晶體的正常生長,雙層爐殼間配有風冷系統(tǒng)取得明顯成效,能快速對溫控系統(tǒng)降溫約定管轄;該爐具有溫場均衡、表面溫度低創新的技術、升降溫度速率快發揮、節(jié)能等優(yōu)點。爐體整體做成一個圓筒的罩式結(jié)構(gòu)快速增長,與固定在支架平臺上的爐底組成一個完整的爐膛開放以來,爐體配有一升降系統(tǒng),可是爐體**升降高質量,方便裝卸料提供了有力支撐。

    2、坩堝升降旋轉(zhuǎn)系統(tǒng):坩堝升降采用伺服控制前景,位移精度可達0.01毫米進一步意見,控制精度高,它是由一套線性模組和伺服電機落到實處,減速機組成服務水平,旋轉(zhuǎn)機構(gòu)由旋轉(zhuǎn)電機減速機組成,升降和旋轉(zhuǎn)安裝在同***臺上技術創新,組成一個完整的機構(gòu)處理方法,安裝在爐底中心位置重要作用,從而帶動坩堝桿的升降與旋轉(zhuǎn),坩堝桿的上部裝有一坩堝平臺習慣,采用高溫陶瓷材料充足,經(jīng)久耐用。

    3導向作用、溫控系統(tǒng):電爐的溫度控制采用可控硅功率控制器+低電壓大電流變壓器方案,可控硅功率控制器采用移相觸發(fā)方式來實現(xiàn)電壓的無級調(diào)節(jié),從而達到自動控制功率的目的十大行動。采用宇電50段溫控儀表左右,控溫精度高,可根據(jù)需要設(shè)定多段升溫曲線綜合措施,從而達到自動控制溫度的目的可靠保障。功能強大,操作方便設計標準,具有超溫開展,上線***聲光**功能“l揮重要帶動作用?刂乒衩姘迳显O(shè)有液晶觸模屏意向,可顯示、設(shè)定坩堝升降速度文化價值,旋轉(zhuǎn)速度形式、位移等,直觀顯示系統(tǒng)各部件的工作狀態(tài)不斷完善,并可實時顯示記錄工況爐內(nèi)的溫度數字化。可顯示溫度基礎上、位移曲線各領域,記錄保存數(shù)據(jù),數(shù)據(jù)也可以刪除保持競爭優勢、導出進行培訓。爐子的所有動作都有一臺PLC來完成,控制精確自動化程度高規劃。

    4提高、變壓器及聯(lián)接電纜:采用三相干式變壓器,聯(lián)接電纜采用銅排或軟電纜降低損耗進入當下,環(huán)保節(jié)能。


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