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輪廓形狀測(cè)量機(jī)

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簡(jiǎn)介完善的高精度輪廓測(cè)量?jī)x?CV-3200/4500系列是在Z1軸(檢出器)上配有高精度弧形光柵尺和新型測(cè)臂的輪廓測(cè)量?jī)x

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簡(jiǎn)介

完善的高精度輪廓測(cè)量?jī)x

? CV-3200/4500 系列是在Z1 (檢出器) 上配有高精度弧形光柵尺和新型測(cè)臂的輪廓測(cè)量?jī)x大部分。高精度弧形光柵尺能直接讀取測(cè)針的弧形軌跡,以實(shí)現(xiàn)高精度和高分辨力實際需求。與傳統(tǒng)型號(hào)相比解決方案,新測(cè)臂使Z1軸測(cè)量范圍增大了10mm 同時(shí)減少了工件的干擾。測(cè)臂安裝部采用了磁性鏈接件善謀新篇,單此接觸就能完成測(cè)臂的裝卸增產,提高了易用性。

? 專為CV-4500 系列增加了以下兩大特性:

(1) 裝配雙面測(cè)針方法,實(shí)現(xiàn)垂直方向(/) 連續(xù)測(cè)量行動力,所獲取的數(shù)據(jù)實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)單分析以往難以測(cè)量的內(nèi)螺紋有效直徑。

(2) 測(cè)力可在FORMTRACEPAK 軟件中設(shè)置切實把製度。無(wú)需調(diào)整配重位置保供。

 

產(chǎn)品參數(shù)規(guī)格:

 

貨號(hào)

CV-3200S4

CV-3200H4

CV-3200W4

CV-3200S8

CV-3200H8

CV-3200W8

CV-4500S4

CV-4500H4

CV-4500W4

CV-4500S8

CV-4500H8

CV-4500W8

測(cè)量
范圍

100mm

200mm

Z1 (檢出器)

60mm (水平位置±30mm)

Z2  (立柱移動(dòng)范圍

300mm

500mm

300mm

500mm

 
 
 
 
Z1 

(
檢出器)

光柵尺類型

弧形

分辨力

CV-3200 系列: 0.04µm, CV-4500 系列: 0.02µm

測(cè)針上下運(yùn)作

弧形移動(dòng)

測(cè)量方向

向前向后

測(cè)針?lè)较?/span>

CV-3200 系列垂直方向 (向上向下單獨(dú)測(cè)量)
CV-4500 
系列垂直方向 (向上向下根據(jù)配重調(diào)整)

測(cè)力

CV-3200 系列: 30mN (上下可連續(xù)測(cè)量)
CV-4500 
系列: 10, 20, 30, 40, 50mN (根據(jù)軟件轉(zhuǎn)換)

跟蹤角度

向上: 77o向下: 83o(根據(jù)表面粗糙度,使用標(biāo)準(zhǔn)單切面測(cè)針*1)

 
 
 
 
 
 
驅(qū)動(dòng)部

長(zhǎng)度基準(zhǔn)

激光全息光柵尺

Z2  (立柱)

ABS 光柵尺

分辨力

0.05 µm

Z2  (立柱)

1 µm

驅(qū)動(dòng)速度

0 - 80mm/s 外加手動(dòng)

Z2  (立柱)

0 - 30mm/s 外加手動(dòng)

測(cè)量速度

0.02 - 5mm/s

直線度*2

0.8µm/100mm

2µm/200mm

傾角范圍

±45o

 
 
 
 
精度
(20
oC)

 
 
CV-3200 
系列

 

±(0.8+0.01L)µm    L = 驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度 (mm)
寬范圍:  1.8µm/100mm
窄范圍:  1.05µm/25mm

±(0.8+0.02L)µm    L = 驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度 (mm)
寬范圍:  4.8µm/200mm
窄范圍:  1.3µm/25mm

Z1 (檢出器)

±(1.6+|2H|/100)µm     H = 水平位置上的測(cè)量高度 (mm)

 
 
CV-4500 
系列

 

±(0.8+0.01L)µm    L = 驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度 (mm)
寬范圍:  1.8µm/100mm
窄范圍:  1.05µm/25mm

±(0.8+0.02L)µm    L = 驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度 (mm)
寬范圍:  4.8µm/200mm
窄范圍:  1.3µm/25mm

Z1 (檢出器)

±(0.8+|2H|/100)µm     H = 水平位置上的測(cè)量高度 (mm)

外形尺寸 (W×D×H)

主機(jī)*3

756×482x
966mm

756×482x
1166mm

1156×482
x1176mm

766×482
x966mm

766×482
x1166mm

1166×482
x1176mm

重量

主機(jī)

140kg

150kg

220kg

140kg

150kg

220kg

*1: SPH-71 (No.354884)

*2: X 軸水平位置時(shí)

*3: 主機(jī)材料為花崗巖

: 雖然天然石材測(cè)量桌的外觀各有不同進行部署,但材料的穩(wěn)定性是值得信賴的責任。

 

 


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