大型樣品室,分析型物鏡保護好,可同時接配EDS/WDS/EBSD組建,在觀察精細形貌同時,做化學成分和晶體結構定性定量分析特點。五軸馬達驅動樣品臺深刻變革,高速渦輪分子泵真空系統(tǒng),全部由酷塞目[COXEM]NanoStation計算機導航自動操作和諧共生,輕松自如質生產力。
CX-200TA標配SE探測器,觀察表面精細形貌形態(tài)技術交流;可選配BSE探測器先進的解決方案,觀察材料成分反差像,同時可擴展低真空觀察模式創造更多,非導電樣品可直接觀察宣講活動;可選配全套
產品簡介
大型樣品室,分析型物鏡大力發展,可同時接配EDS/WDS/EBSD豐富內涵,在觀察精細形貌同時,做化學成分和晶體結構定性定量分析產能提升。五軸馬達驅動樣品臺適應性,高速渦輪分子泵真空系統(tǒng),全部由酷塞目[COXEM]NanoStation計算機導航自動操作總之,輕松自如面向。
CX-200TA標配SE探測器,觀察表面精細形貌形態(tài)研學體驗;可選配BSE探測器建設項目,觀察材料成分反差像最為突出,同時可擴展低真空觀察模式,非導電樣品可直接觀察相結合;可選配全套的X射線微區(qū)分析附件(EDS高效化、WDS,EBSD)原位實現化學成分定性定量,及微區(qū)晶體結構定性定量分析為產業發展; 可選配+CCD樣品室監(jiān)控附件範圍和領域。
主要特點:
--圓錐形分析型物鏡,長焦性能*
--中大型樣品室分析型物鏡各項要求,可同時接配多種探測器,有較強分析拓展能力更高要求;
--五軸自動樣品臺,PC導航控制新技術,步進電機驅動精度19nm/步共同學習,Point & Go操作,坐標定位系統(tǒng)深入,
--渦輪分子泵真空系統(tǒng)高效清潔節(jié)能效高,
--全數字化高度集成的電器控制系統(tǒng),結構緊湊基礎,穩(wěn)定可靠性能,與計算機通訊采用高速USB接口。
--zui高支持5120 x 3840像素的圖像采集能力對外開放,體現優(yōu)良的數字化控制掃描系統(tǒng)對電子束的控制精度
--全自動控制能力技術創新,一鍵成像,自動燈絲飽和有序推進,自動聚焦設施,自動消象散,自動亮度對比度控制配套設備,自動電子束對 中,自動偏壓相對開放,物鏡光闌自動搖擺對中合軸推進高水平。
--NanoStation操作軟件,多種快捷按鈕拓展應用,簡單方便生產創效,同時允許用戶自定義熱鍵,允許更高效的操作管理;
圖像灰度直方圖實時顯示優化上下,自動調整亮度對比度。
--強大的圖像編輯處理能力
技術指標:
分辨率:3.0nm(30kV模樣,SEI)10nm(3KV生產體系,SEI)
4.0nm(30kV服務,BSEI)
放大倍數:10x~300,000x
加速電壓 0.5kV~30kV
電子槍:三級自給偏壓能力和水平,偏壓電阻可自動/手動調節(jié)覆蓋,預對中發(fā)叉式鎢絲陰極
透鏡系統(tǒng):2個聚光鏡,1個物鏡
物鏡光闌:4孔可變光闌研究,搖擺對中合軸
圖像電位移和電旋轉:±50μm(WD:10㎜)高效;0-360°無限
樣品室:內徑φ210mm,可接配EDS提高,BSE機構,WDS EBSD等分析附件.
樣品臺及行程:計算機導航全自動機械對中樣品臺
X:65㎜,Y:40㎜交流,Z:5~65㎜攜手共進,T:-20°~+90°,R:360°
zui大樣品尺寸:160mm(直徑)X 71mm(高度)
操作系統(tǒng):PC機控制推進一步,Windows7經過,21.5英寸彩顯,GUI操作軟件嵌入多種圖像實時分析測量工具力度,鼠標鍵盤操作
自動功能:自動聚焦明確了方向,自動亮度對比度,自動消象散勇探新路,自動飽和改進措施,自動對中,自動偏壓電阻長足發展。
視頻分辨率及幀頻:選區(qū)模式:320 x 240像素 30幀/秒
TV 模式:640 x 480像素 10幀/秒
慢掃描模式:800 x 600像素(3檔速度)
掃描模式:1200 x 600像素(SE BSE 雙信號)
照相模式:1280 x 960今年,2560 x 1920,5120 x 3840像素
示波器模式
圖像格式 JPG結構不合理,TIFF動手能力,BMP
語言英語
真空系統(tǒng):帶安全防護的自動高真空系統(tǒng),渦輪分子泵260升/秒+旋片式機械泵100L/min
真空度實時顯示意見征詢。
高真空:樣品室處真空度優(yōu)于7.5x10-5 Torr提升,
低真空:樣品室 1-270Pa
總功率:2KW
外形尺寸和重量:
主機:77(W)x88(D)x150(H)㎝,350㎏
電腦桌:任意
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