初項可達0.28微米的三坐標測量機積極。

三坐標測量機  LEGEX

主體基座采用球墨鑄鐵的封閉式結構，實現(xiàn)了高剛性堅持先行、高振動衰減性產業。還運用FEM構造分析模擬應力分析，將負重形變量降低到較低程度優化上下，確保幾何學動態(tài)精度能力建設。

開發(fā)了Y軸導軌與主體基座一體化結構。

Y軸導軌生產體系，X軸橫梁服務，Z軸主軸滑動部分進行陶瓷–等離子噴涂處理，形成空氣軸承滑動適合的表面參與水平。實現(xiàn)了耐銹蝕性和抗腐蝕性大型。

LEGEX的主體結構快速衰減移動時的殘留振動，大幅度減少因振蕩產(chǎn)生的波動幅度明確相關要求。

X軸和Y軸是獨立的構造重要意義，X軸的移動對Y軸導軌沒有任何影響。

LEGEX通過“如果橋式結構移動產(chǎn)生誤差深化涉外，讓橋結構不移動就好了”的逆向構思體系，大幅度控制阿貝誤差采用了橋固定工作臺移動結構。

標配專用的高性能帶有自動調(diào)水平功能的“空氣阻尼彈簧減振器”開展試點。

驅(qū)動由滾珠絲桿+DC伺服電機來進行攜手共進，采用了一個特殊的浮動機構以鏈接滾珠絲杠與導向塊。  

配置新開發(fā)的無熱膨脹的線膨脹系數(shù)0.1x10^-6/攝氏度的結晶玻璃尺推進一步，與分辨力為0.01微米的發(fā)射型編碼器相結合的高精度測長單元經過。

確保18至22攝氏度的溫度范圍內(nèi)的精度。