產(chǎn)品概述

高性能掃描顯微鏡 ——Cs掃：800mm/s掃描速度很重要，T掃：600mm/s，8m/s2掃描加速度覆蓋。典型應(yīng)用場景的掃描效率達(dá)到35秒/件異常狀況，為S500機(jī)型的數(shù)倍。為大批量中小尺寸工件的快速全檢高效，提供了高性能的解決方案應用創新。采用整體焊接框架、主動平衡減振機(jī)構(gòu)機構，有效降低高加速度引起的機(jī)體晃動的特性，提高成像質(zhì)量。

主要配置：
1基礎、龍門式高速直線電機(jī)掃描運(yùn)動臺提供堅實支撐；
2、主動平衡減震系統(tǒng)高產；
3信息化技術、整體焊接框架，提高穩(wěn)定性良好；
4逐步顯現、全封閉防護(hù)銘記囑托；
5、夾具自動化裝置、一鍵校準(zhǔn)示範、遠(yuǎn)程協(xié)助；
6開展攻關合作、自動上下水及水循環(huán)凈化系統(tǒng)製度保障。
 
應(yīng)用領(lǐng)域
精密器件 ——半導(dǎo)體、集成電路和金剛石等行業(yè)高速全檢的有效手段，適用于理化試驗室或車間現(xiàn)場。

產(chǎn)品參數(shù)
1提升、工作電源：220V/50Hz大大提高，3KW；
2研究成果、掃描范圍： C掃描500mm×340mm×100mm取得了一定進展；圖像推薦分辨率：0.5um ~ 4000um；T掃描機(jī)：350mm*300mm

     *100mm大面積；

3積極參與、整機(jī)尺寸：1250mm×850mm×1300mm；（標(biāo)配）

4培養、探頭頻率范圍：1~100MHz交流研討；（標(biāo)配，可升級至230MHz）形式；
5建設應用、圖像推薦分辨率：0.5um ~ 4000um；
6日漸深入、典型掃描耗時：≤35s （測試條件：掃描區(qū)域10mmX10mm動力，分辨率50um)；
7互動式宣講、掃描速度：800mm/s效高性；
8、運(yùn)動臺定位精度：X/Y向<±0.5um自動化，Z向<±10um提升；重復(fù)定位精度：X/Y向<±0.01mm，Z向<±0.02mm落地生根。
9的特點、采樣頻率：25~250MHz；（標(biāo)配有效保障，可升級至1.5GHz）大數據；
10長效機製、每通道可調(diào)增益：-13~66dB;（標(biāo)配，可升級）數字技術；脈沖重復(fù)頻率：5kHz奮戰不懈；（標(biāo)配，可升級）措施。