當(dāng)前位置:儀器網(wǎng) > 產(chǎn)品中心 > 行業(yè)專用儀器>其它行業(yè)專用儀器>電子/半導(dǎo)體> 電子顯微鏡
返回產(chǎn)品中心>電子顯微鏡
參考價(jià) | 面議 |
- 公司名稱 北京科斯儀器有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 所在地 北京市
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/12/10 15:00:57
- 訪問(wèn)次數(shù) 18
當(dāng)前位置:儀器網(wǎng) > 產(chǎn)品中心 > 行業(yè)專用儀器>其它行業(yè)專用儀器>電子/半導(dǎo)體> 電子顯微鏡
返回產(chǎn)品中心>參考價(jià) | 面議 |
超大試樣室掃描電子顯微鏡MIRA(LC-SEM)來(lái)自德國(guó)的“MIRA超大試樣室掃描電鏡(LC-SEM)”互動講,自從推出后,已在航空像一棵樹、航天及材料科學(xué)中得到了廣泛應(yīng)用
來(lái)自德國(guó)的“MIRA超大試樣室掃描電鏡(LC-SEM)”飛躍,自從推出后,已在航空全面協議、航天及材料科學(xué)中得到了廣泛應(yīng)用。LC-SEM可以同時(shí)裝備多種探測(cè)設(shè)備(背散射電子成像具體而言、EDS工具、EBSD、FIB、FT-IR)來(lái)滿足不同的需求重要的角色。不僅可以檢查大型零部件的物理特性開放要求,還可以評(píng)價(jià)原材料的化學(xué)和結(jié)晶體特性。幾乎對(duì)任何樣本都可實(shí)現(xiàn)非常準(zhǔn)確的平臺建設,直到在分子層面的一站式檢查和分析服務機製。
LC-SEM 真空室和真空系統(tǒng)
LC-SEM試樣室有 3 m3多樣性、9 m3發揮效力、12 m3 三種型號(hào),分析試樣可高達(dá):直徑1500毫米明顯、高度1500毫米安全鏈。真空系統(tǒng)裝配有強(qiáng)大的三個(gè)泵:旋片和轉(zhuǎn)子泵應(yīng)用于低真空,渦輪增壓泵應(yīng)用于高真空創新為先,可實(shí)現(xiàn)10 -6 mbar的高真空真正做到。該系統(tǒng)有足夠的能力,除去腔室中試樣的氣體創新延展,在45分鐘內(nèi)便可以實(shí)現(xiàn)所需的真空度強化意識。設(shè)置有多層墻體保證了不受任何外部磁場(chǎng)的影響。 當(dāng)一個(gè)人觀察一個(gè)小的對(duì)象時(shí)基本情況,會(huì)在手中扭轉(zhuǎn)對(duì)象現場,人眼-可視化系統(tǒng)是固定的高端化。當(dāng)觀察一個(gè)更大的物體時(shí),人會(huì)在物體周圍左右移動(dòng)我有所應,以便觀察它不負眾望。種情況是類似于標(biāo)準(zhǔn)SEM的情況,而后者則反映了LC-SEM的情況調解製度。
LC -SEM 配備了定位系統(tǒng)精準調控,配備有一個(gè)5 +1旋轉(zhuǎn)軸系統(tǒng),電子搶應用的因素之一、相機(jī)和各種探測(cè)器都懸掛在旋轉(zhuǎn)軸上解決,最初是利用遠(yuǎn)程控制來(lái)調(diào)整軸的角度和高度,使柱體的置相對(duì)迅速接近樣品的重點(diǎn)區(qū)域善於監督,再通過(guò)計(jì)算機(jī)控制移動(dòng)電子槍和探測(cè)器以及完整的光學(xué)系統(tǒng)集成技術,可以滿足從不同角度的視角觀察。在研究過(guò)程中更合理,還可以進(jìn)行修改以便優(yōu)化信號(hào)接收適應能力。并且還可以移動(dòng)試樣,這樣極大地減少了試樣裝載次數(shù)各方面。
四個(gè)電腦顯示器通過(guò)探測(cè)器跟蹤柱和樣品的運(yùn)動(dòng)以及觀察試樣表面特性和分析化學(xué)信息防控,軟件、電氣和機(jī)械接口通過(guò)一個(gè)單一的終端控制適應性。
成像和分析系統(tǒng)
通過(guò)裝備高級(jí)電子槍堅實基礎,LC-SEM有能力提供高于10nm的分辨率和高達(dá)30萬(wàn)倍的圖像放大能力,加上強(qiáng)大的二次反射電鏡的通道倍增探測(cè)器重要作用,整個(gè)系統(tǒng)通過(guò)多個(gè)運(yùn)行系統(tǒng)保證圖像的質(zhì)量等地。阻尼系統(tǒng)可以防止外部振動(dòng)影響系統(tǒng),同時(shí)電子槍和探測(cè)器有一個(gè)創(chuàng)新的冷卻循環(huán)系統(tǒng)尤為突出。LC-SEM和它的所有部件都采用100%的計(jì)算機(jī)控制規定,其系統(tǒng)全部使用Microsoft Windows ®的軟件設(shè)計(jì)。
通過(guò)分析系統(tǒng)的集成空間載體,在腔室的真空環(huán)境下高質量,通過(guò)背散射電子成像,能量發(fā)散X射線光譜儀(EDS)和電子背散射衍射系統(tǒng)(EBSD)重要組成部分,LC-SEM擁有生成完整的測(cè)試結(jié)果的能力流程。LC-SEM也可以配置聚焦離子束(FIB)和傅立葉變換紅外光譜儀(FT-IR)實(shí)現(xiàn)其擴(kuò)展功能。LC-SEM的可變壓力方式還可以讓工程師和科學(xué)家做傳導(dǎo)和絕緣樣本的臨界面特性研究勃勃生機,包括金屬助力各業、陶瓷、水泥和金屬間化合物提供有力支撐。原位觀測(cè)質生產力、分析
除了研究大樣本智能化,LC–SEM還可應(yīng)用于在材料的變形行為的原位觀測(cè)以及在微系統(tǒng)技術(shù)領(lǐng)域生產(chǎn)過(guò)程的現(xiàn)場(chǎng)觀測(cè)控制中。LC–SEM也可以通過(guò)“中斷監(jiān)控”實(shí)現(xiàn)較大的工程部件的無(wú)損檢測(cè)實(shí)驗(yàn)處理。例如,測(cè)試高壓泵的高負(fù)荷部件的摩擦特性在此基礎上,可以通過(guò)進(jìn)行中斷監(jiān)控來(lái)研究助力各行。這些部件在正常工作一段時(shí)期后,可在LC-SEM中觀察研究自主研發,之后可以再立即工作確定性,從而得到不同使用階段的摩擦特性。這種監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的方式將打開(kāi)一個(gè)全新的損耗、廣闊的工程應(yīng)用領(lǐng)域講故事,使得我們能夠獲得更直接、更詳細(xì)的對(duì)磨合和破壞過(guò)程的了解性能穩定。 應(yīng)用行業(yè) l 航空、航天 l 軍事與國(guó)防 l 文化與考古 l 半導(dǎo)體和電子元件 l 醫(yī)藥與生物材料 l 法醫(yī)學(xué) l 材料科學(xué) | 應(yīng)用領(lǐng)域 l 原位分析 l 故障分析 l 高精密小型生產(chǎn)更適合、裝配控制 l 科學(xué)研究與產(chǎn)品開(kāi)發(fā) |
LC-SEM用戶
德國(guó)不來(lái)梅大學(xué) Universit?t Bremen
德國(guó)漢諾威大學(xué) Umiversitat Hannover
德國(guó)亞琛工業(yè)大學(xué) RWTH Aachen University
德國(guó)埃爾蘭根—紐倫堡大學(xué) Friedrich-Alexanqder-Universit?t Erlangen-N?rnberg
德國(guó)多特蒙德工業(yè)大學(xué) TU Dortmund
德國(guó)不倫瑞克工業(yè)大學(xué) Technische Universit?t Braunschweig
日本宇宙航空研究開(kāi)發(fā)機(jī)構(gòu)(JAXA)
美國(guó)NOVA無(wú)損檢測(cè)中心 設(shè)在美國(guó)西肯塔基大學(xué) Nondestructive Analysis (NOVA) Center
美國(guó)能源部國(guó)家核安全管理局的機(jī)構(gòu) Y-12 National Security Complex
美國(guó)空軍裝備部 延克空軍基地材料實(shí)驗(yàn)室 Tinker AFB Materials Laboratory
MIRA超大試樣室掃描電鏡(LC-SEM)技術(shù)規(guī)格參數(shù)
電子光學(xué) |
|
分辨率 | 優(yōu)于10納米 |
放大 | 10x–300,000x |
加速電壓 | 0.2–30keV |
探測(cè)器 | 二次反射通道倍增電子探測(cè)器 四象限背散射電子探測(cè)器 |
分析能力 | 能量色散X射線光譜儀(EDS) |
電子背散射衍射儀(EBSD) | |
附加功能 | 聚焦離子束(FIB) |
傅立葉變換紅外光譜儀(FT-IR) | |
內(nèi)部攝像系統(tǒng) | |
圖像處理 |
|
軟件 | MIRA控制系統(tǒng) |
硬件 | 電腦高效,顯示器和打印機(jī) |
真空系統(tǒng) |
|
低真空泵 | 旋片泵,65立方米/ h |
旋轉(zhuǎn)式轉(zhuǎn)子泵要素配置改革,400立方米/小時(shí) | |
高真空泵 | 渦輪泵2400升/秒 |
極限真空 | 直至45分鐘后10 -6毫巴 |
真空室 | 3 m3;9 m3; 12 m3 |
標(biāo)本 |
|
尺寸 | 高達(dá)直徑1500毫米全方位,高度1500毫米 |
質(zhì)量 | 300 kg, |
定位系統(tǒng) |
|
軸 | 5 +1微步控制軸系統(tǒng) |
重復(fù)精度 | ±50 μm |
定位范圍 |
|
X-軸 | 600mm,1000mm,1500mm |
Z-軸 | 600mm,1000mm,1500mm |
A-軸 | 90° |
B-軸 | 135° |
C-軸 | 360° |
D-軸 | 350° |
*您想獲取產(chǎn)品的資料:
個(gè)人信息: