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電子顯微鏡

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  • 公司名稱 北京科斯儀器有限公司
  • 品牌
  • 型號(hào)
  • 所在地 北京市
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時(shí)間 2024/12/10 15:00:57
  • 訪問(wèn)次數(shù) 18

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超大試樣室掃描電子顯微鏡MIRA(LC-SEM)來(lái)自德國(guó)的“MIRA超大試樣室掃描電鏡(LC-SEM)”互動講,自從推出后,已在航空像一棵樹、航天及材料科學(xué)中得到了廣泛應(yīng)用

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超大試樣室掃描電子顯微鏡MIRA ( LC-SEM )

    來(lái)自德國(guó)的“MIRA超大試樣室掃描電鏡(LC-SEM)”飛躍,自從推出后,已在航空全面協議、航天及材料科學(xué)中得到了廣泛應(yīng)用。LC-SEM可以同時(shí)裝備多種探測(cè)設(shè)備(背散射電子成像具體而言、EDS工具、EBSD、FIB、FT-IR)來(lái)滿足不同的需求重要的角色。不僅可以檢查大型零部件的物理特性開放要求,還可以評(píng)價(jià)原材料的化學(xué)和結(jié)晶體特性。幾乎對(duì)任何樣本都可實(shí)現(xiàn)非常準(zhǔn)確的平臺建設,直到在分子層面的一站式檢查和分析服務機製。



   
使用通常掃描電子顯微鏡時(shí),面臨困難之一是被測(cè)樣品的大小限制重要的作用,通常情況下更多可能性,只能對(duì)直徑在數(shù)十到一百毫米內(nèi)小的樣本進(jìn)行研究且只有一兩種關(guān)聯(lián)的分析工具,這限制了這一重要測(cè)試技術(shù)的應(yīng)用足夠的實力。LC-SEM克服了這一點(diǎn)緊迫性,其超大真空室和光學(xué)系統(tǒng)擴(kuò)展視圖功能可容納直徑與高度分別達(dá)1.5米,重300kg的樣品更適合,分辨率優(yōu)于10納米高效,放大倍數(shù)10倍-30萬(wàn)倍,真空度10-6毫巴要素配置改革,加速電壓30kv體系。從一粒沙子到一個(gè)柴油發(fā)動(dòng)機(jī)大小的樣品,不必切小帶動產業發展,僅用一臺(tái)儀器就可以做全面的檢查責任製。其足夠大的空間還可進(jìn)行原位觀察,實(shí)現(xiàn)零部件疲勞必然趨勢、應(yīng)力/應(yīng)變促進善治、磨損等非破壞性試驗(yàn)研究。

          

LC-SEM 真空室和真空系統(tǒng)

LC-SEM試樣室有 3 m3多樣性、9 m3發揮效力、12 m3 三種型號(hào),分析試樣可高達(dá):直徑1500毫米明顯、高度1500毫米安全鏈。真空系統(tǒng)裝配有強(qiáng)大的三個(gè)泵:旋片和轉(zhuǎn)子泵應(yīng)用于低真空,渦輪增壓泵應(yīng)用于高真空創新為先,可實(shí)現(xiàn)10 -6 mbar的高真空真正做到。該系統(tǒng)有足夠的能力,除去腔室中試樣的氣體創新延展,在45分鐘內(nèi)便可以實(shí)現(xiàn)所需的真空度強化意識。設(shè)置有多層墻體保證了不受任何外部磁場(chǎng)的影響。
  













的定位系統(tǒng)

當(dāng)一個(gè)人觀察一個(gè)小的對(duì)象時(shí)基本情況,會(huì)在手中扭轉(zhuǎn)對(duì)象現場,人眼-可視化系統(tǒng)是固定的高端化。當(dāng)觀察一個(gè)更大的物體時(shí),人會(huì)在物體周圍左右移動(dòng)我有所應,以便觀察它不負眾望。種情況是類似于標(biāo)準(zhǔn)SEM的情況,而后者則反映了LC-SEM的情況調解製度。
    LC -SEM 配備了定位系統(tǒng)精準調控,配備有一個(gè)5 +1旋轉(zhuǎn)軸系統(tǒng),電子搶應用的因素之一、相機(jī)和各種探測(cè)器都懸掛在旋轉(zhuǎn)軸上解決,最初是利用遠(yuǎn)程控制來(lái)調(diào)整軸的角度和高度,使柱體的置相對(duì)迅速接近樣品的重點(diǎn)區(qū)域善於監督,再通過(guò)計(jì)算機(jī)控制移動(dòng)電子槍和探測(cè)器以及完整的光學(xué)系統(tǒng)集成技術,可以滿足從不同角度的視角觀察。在研究過(guò)程中更合理,還可以進(jìn)行修改以便優(yōu)化信號(hào)接收適應能力。并且還可以移動(dòng)試樣,這樣極大地減少了試樣裝載次數(shù)各方面。

四個(gè)電腦顯示器通過(guò)探測(cè)器跟蹤柱和樣品的運(yùn)動(dòng)以及觀察試樣表面特性和分析化學(xué)信息防控,軟件、電氣和機(jī)械接口通過(guò)一個(gè)單一的終端控制適應性。

成像和分析系統(tǒng)

通過(guò)裝備高級(jí)電子槍堅實基礎,LC-SEM有能力提供高于10nm的分辨率和高達(dá)30萬(wàn)倍的圖像放大能力,加上強(qiáng)大的二次反射電鏡的通道倍增探測(cè)器重要作用,整個(gè)系統(tǒng)通過(guò)多個(gè)運(yùn)行系統(tǒng)保證圖像的質(zhì)量等地。阻尼系統(tǒng)可以防止外部振動(dòng)影響系統(tǒng),同時(shí)電子槍和探測(cè)器有一個(gè)創(chuàng)新的冷卻循環(huán)系統(tǒng)尤為突出。LC-SEM和它的所有部件都采用100%的計(jì)算機(jī)控制規定,其系統(tǒng)全部使用Microsoft Windows ®的軟件設(shè)計(jì)。

通過(guò)分析系統(tǒng)的集成空間載體,在腔室的真空環(huán)境下高質量,通過(guò)背散射電子成像,能量發(fā)散X射線光譜儀(EDS)和電子背散射衍射系統(tǒng)(EBSD)重要組成部分,LC-SEM擁有生成完整的測(cè)試結(jié)果的能力流程。LC-SEM也可以配置聚焦離子束(FIB)和傅立葉變換紅外光譜儀(FT-IR)實(shí)現(xiàn)其擴(kuò)展功能。LC-SEM的可變壓力方式還可以讓工程師和科學(xué)家做傳導(dǎo)和絕緣樣本的臨界面特性研究勃勃生機,包括金屬助力各業、陶瓷、水泥和金屬間化合物提供有力支撐。

     

原位觀測(cè)質生產力、分析

    除了研究大樣本智能化,LC–SEM還可應(yīng)用于在材料的變形行為的原位觀測(cè)以及在微系統(tǒng)技術(shù)領(lǐng)域生產(chǎn)過(guò)程的現(xiàn)場(chǎng)觀測(cè)控制中。LC–SEM也可以通過(guò)“中斷監(jiān)控”實(shí)現(xiàn)較大的工程部件的無(wú)損檢測(cè)實(shí)驗(yàn)處理。例如,測(cè)試高壓泵的高負(fù)荷部件的摩擦特性在此基礎上,可以通過(guò)進(jìn)行中斷監(jiān)控來(lái)研究助力各行。這些部件在正常工作一段時(shí)期后,可在LC-SEM中觀察研究自主研發,之后可以再立即工作確定性,從而得到不同使用階段的摩擦特性。這種監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的方式將打開(kāi)一個(gè)全新的損耗、廣闊的工程應(yīng)用領(lǐng)域講故事,使得我們能夠獲得更直接、更詳細(xì)的對(duì)磨合和破壞過(guò)程的了解性能穩定。

   
LC-SEM腔室內(nèi)的疲勞試驗(yàn)
了滿足評(píng)估原位變形特性研究的需要全面革新,將一個(gè)機(jī)械液壓疲勞試驗(yàn)機(jī)融入到了腔室中,可以在LC-SEM中執(zhí)行疲勞測(cè)試情況正常。 
在這種聯(lián)合測(cè)試中行業分類,不僅能確定材料過(guò)載臨界點(diǎn),而且裂紋的生成與擴(kuò)展也能被觀察和研究提高鍛煉,晶體材料的特性能在執(zhí)行疲勞試驗(yàn)后進(jìn)行研究發展邏輯,由此顯微鏡轉(zhuǎn)換成了一個(gè)完整的測(cè)試設(shè)備,能提供完整的測(cè)試結(jié)果有所提升。該系統(tǒng)能使研究人員記錄材料裂紋聚集之前的結(jié)構(gòu)變化聽得進,同時(shí)能夠觀察微觀結(jié)構(gòu)對(duì)初期裂紋形成與擴(kuò)展的影響。該系統(tǒng)還設(shè)計(jì)有一個(gè)節(jié)點(diǎn)控制機(jī)制先進水平,允許感興趣的點(diǎn)始終留在視野當(dāng)中便利性。本機(jī)的優(yōu)異的穩(wěn)定性,能夠極大地改善疲勞足夠的實力、開(kāi)裂現(xiàn)象的原位研究緊迫性。 


應(yīng)用行業(yè)
l 
汽車

l  航空、航天

l  軍事與國(guó)防

l  文化與考古

l  半導(dǎo)體和電子元件  

l  醫(yī)藥與生物材料

l  法醫(yī)學(xué)

l  材料科學(xué)


應(yīng)用領(lǐng)域
l 
無(wú)損檢測(cè)

l  原位分析

l  故障分析

l  高精密小型生產(chǎn)更適合、裝配控制

l  科學(xué)研究與產(chǎn)品開(kāi)發(fā)


LC-SEM用戶

德國(guó)不來(lái)梅大學(xué)   Universit?t Bremen
德國(guó)漢諾威大學(xué)   Umiversitat Hannover
德國(guó)亞琛工業(yè)大學(xué)  RWTH Aachen University
德國(guó)埃爾蘭根紐倫堡大學(xué)  Friedrich-Alexanqder-Universit?t Erlangen-N?rnberg
德國(guó)多特蒙德工業(yè)大學(xué)  TU Dortmund
德國(guó)不倫瑞克工業(yè)大學(xué)  Technische Universit?t  Braunschweig
日本宇宙航空研究開(kāi)發(fā)機(jī)構(gòu)JAXA
美國(guó)NOVA無(wú)損檢測(cè)中心  設(shè)在美國(guó)西肯塔基大學(xué) Nondestructive Analysis (NOVA) Center   
美國(guó)能源部國(guó)家核安全管理局的機(jī)構(gòu)   Y-12 National Security Complex
美國(guó)空軍裝備部 延克空軍基地材料實(shí)驗(yàn)室   Tinker AFB Materials Laboratory

MIRA超大試樣室掃描電鏡(LC-SEM技術(shù)規(guī)格參數(shù)

電子光學(xué)

 

分辨率

優(yōu)于10納米

放大

10x300,000x

加速電壓

0.230keV

探測(cè)器

二次反射通道倍增電子探測(cè)器

四象限背散射電子探測(cè)器

分析能力

能量色散X射線光譜儀(EDS

電子背散射衍射儀(EBSD

附加功能

聚焦離子束(FIB

傅立葉變換紅外光譜儀(FT-IR

內(nèi)部攝像系統(tǒng)

圖像處理

 

軟件

MIRA控制系統(tǒng)

硬件

電腦高效,顯示器和打印機(jī)

真空系統(tǒng)

 

低真空泵

旋片泵,65立方米/ h

旋轉(zhuǎn)式轉(zhuǎn)子泵要素配置改革,400立方米/小時(shí)

高真空泵

渦輪泵2400/

極限真空

直至45分鐘后10 -6毫巴

真空室

3 m3;9 m3; 12 m3


標(biāo)本

 

尺寸

高達(dá)直徑1500毫米全方位,高度1500毫米

質(zhì)量

300 kg,

定位系統(tǒng)

 

5 +1微步控制軸系統(tǒng)

重復(fù)精度

±50 μm

定位范圍

 

X-

600mm,1000mm,1500mm

Z-

600mm,1000mm,1500mm

A-

90°

B-

135°

C-

360°

D-

350°























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