超聲顯微掃查儀采用高頻聚焦超聲波探頭，基于超聲波檢測(cè)原理信息，可以對(duì)不透明物體表面相關、亞表面及其內(nèi)部一定深度內(nèi)的細(xì)微結(jié)構(gòu)進(jìn)行顯微成像觀察，能夠檢測(cè)出材料內(nèi)部的雜質(zhì)顆粒豐富內涵、裂紋生產效率、分層、空洞適應性、氣泡和孔隙等缺陷節點。可應(yīng)用于半導(dǎo)體和電子封裝缺陷檢測(cè)與失效分析發展成就、電路板焊接質(zhì)量檢測(cè)與分析成就、材料織構(gòu)觀測(cè)與研究、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域的無(wú)損檢測(cè)與觀察互動式宣講。主要參數(shù)指標(biāo)：2GHz采樣頻率, 400MHz帶寬, 高精度直線電機(jī)掃描效高性，最小采樣間隔10m, 掃描速度1000mm/s模式。

機(jī)械運(yùn)動(dòng)部分
■多軸運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)自動化，XY軸選用直線電機(jī)，光柵閉環(huán)控制高品質，光柵尺分辨率1 μm不折不扣；
■X軸標(biāo)準(zhǔn)行程：300mm支撐能力；
■Y軸標(biāo)準(zhǔn)行程：300mm；                
■Z軸標(biāo)準(zhǔn)行程：150mm高效利用；
■T軸工件旋轉(zhuǎn)軸（可選）特征更加明顯；
■探頭角度調(diào)整：手動(dòng)或電動(dòng)AB軸（可選）；
可以實(shí)現(xiàn)XY水平面講理論，YZ豎直面的可能性，TZ回轉(zhuǎn)曲面掃描。

超聲儀器傳感器
■脈沖激勵(lì)電壓：475V或900V兩款可選服務為一體；
■系統(tǒng)通頻帶：0.1-35MHz/1-60MHz/40-165MHz三款可選問題；
■采樣頻率：50MHz到2GHz可調(diào)；
■重復(fù)頻率：5 KHz/10 KHz/20KHz三款可選全會精神；
■采樣深度：8位或14位兩款可選系統穩定性；
■高頻聚焦換能器：20-100MHz多款可選。

軟件部分功能
■光柵位置精確觸發(fā)集中展示，最小10μm采樣間隔實力增強；
■DMA高速數(shù)據(jù)傳輸，全波數(shù)據(jù)采集探索創新，閘門(mén)動(dòng)態(tài)重構(gòu)帶來全新智能；
■ABCD信號(hào)和圖像多種顯示模式；
■時(shí)域信號(hào)峰值和相位成像新產品、信號(hào)頻域峰值等多種成像模式更優質；
■多閘門(mén)設(shè)置、表面波或底面波閘門(mén)跟隨推進高水平。