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雙管全自動立式爐(PI Cuer廣度和深度,退火深入交流,合金)

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

該廠商其他產(chǎn)品

我也要出現(xiàn)在這里

產(chǎn)品用途:集成電路圓片膠, BPO膠/PI膠/BCB膠固化也逐步提升,IC晶圓記得牢、CMOS、Bumping重要的作用、TSV更多可能性、MEMS去創新、指紋識別;集成電路圓片快速退火緊迫性。

詳細(xì)信息 在線詢價

產(chǎn)品特點:

   1.一體式人機操作系統(tǒng)結構,連續(xù)式自動化生產(chǎn),工作效率高高效,節(jié)約人工成本溝通協調、電能及工藝時間;

   2.FEC加熱體系,升溫迅速且均勻度好保障性;

   3.優(yōu)質(zhì)不銹鋼材質(zhì),表面經(jīng)物理及化學(xué)拋光處理責任製,確保潔凈度十分落實;

   4.自帶自清潔功能——高溫清潔。


技術(shù)參數(shù):

TASF3075D107-N0

TASF3075D207-N0

TASF3075D407-N0

處理產(chǎn)品

8/12inch 晶圓

處理量

100/75PCS/管

加熱器

圓形FEC加熱板

上料口

4個 

機械手

1

溫度范圍

長期使用溫度: 350℃規則製定,溫度750

升溫速率

8/min

降溫速率

7/min

加熱功率

30kW(單爐)*2

加熱溫區(qū)

3*2

爐溫均勻性

±2℃(350℃

控溫?zé)崤?/span>

K分度

溫度控制方式

SSR

程序控制

P.I.D控制

爐膛材料

石英

保溫材料

陶瓷纖維

氣氛控制

多路流量計調(diào)節(jié)進(jìn)氣

流量計量程

10-150L/min  氮氣

20-40L/min  氧氣

氣氛

N2/O2

排氣系統(tǒng)

在頂部設(shè)置排氣煙囪擴大,用于廢氣排放,回收



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