低溫真空泵低溫真空泵是利用10K（-263℃）低溫制冷機(jī)作為冷源，通過低溫冷凝特征更加明顯、低溫吸附的原理獲得無油高真空的設(shè)備估算，低溫真空泵廣泛應(yīng)用于：1）半導(dǎo)體、集成電路的可能性、光電器件的鍍膜工藝過程不要畏懼；2）光學(xué)鏡片鍍膜；3）磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線問題；4）空間環(huán)境模擬逐漸顯現；5）真空排氣臺(tái)等

低溫真空泵

  低溫真空泵是利用10K（-263℃）低溫制冷機(jī)作為冷源，通過低溫冷凝系統穩定性、低溫吸附的原理獲得無油高真空的設(shè)備拓展基地，

低溫真空泵廣泛應(yīng)用于：

   1）半導(dǎo)體、集成電路實力增強、光電器件的鍍膜工藝過程體系流動性；

   2）光學(xué)鏡片鍍膜；

   3）磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線帶來全新智能；

   4）空間環(huán)境模擬實現了超越；

   5）真空排氣臺(tái)等。

低溫真空泵主要特點(diǎn)：

   1）低溫真空泵是吸附式真空泵去完善，工作時(shí)無需前級泵相對開放；

   2）低溫真空泵需要再生；

   3）低溫真空泵對不同氣體具有不同的抽速和抽氣容量脫穎而出。

低溫真空泵的主要優(yōu)點(diǎn)：

    1）高極限真空度拓展應用。基本型可達(dá)10^-6Pa真空度結構，特殊要求時(shí)可達(dá)10^-7Pa以上管理；

    2）大抽速。對空氣尤其是對水蒸汽具有超高的抽速雙重提升，其它真空泵不可比擬戰略布局；

    3）真正潔凈。

    4）運(yùn)行成本低

    5）安全可靠

    6）使用方便

    7）使用壽命長