特點：
? 一次測量構建，實現(xiàn)粗糙度創新科技、波紋度、輪廓分析共創輝煌。
? 實現(xiàn)全范圍內(nèi)的粗糙度具有重要意義、波紋度測量。
? X向采用新型數(shù)字式傳感器大部分，精度更高強大的功能，Z1采用自主研發(fā)高精度多段式電感傳感器覆蓋範圍。
? 多段式高精度傳感器具有超大量程深入，較大限度保持了傳感器的原有精度。
? 采用高剛性高精度免維護直線運動導(dǎo)軌共謀發展，精密控制系統(tǒng)基礎。
? 采用高速并行數(shù)據(jù)采集單元提供堅實支撐，硬件觸發(fā)、硬件高速采樣高產，無延時信息化技術。
? 足夠密集及穩(wěn)定的數(shù)據(jù)源為后期數(shù)據(jù)處理、計算提供有力的保障良好。
產(chǎn)品參數(shù)：
規(guī)格號 | 參數(shù) |
測量范圍 | X軸 | 0-200mm可選 |
Z軸 | 0-620mm可選 |
Z1軸 | 6mm,2mm |
線性精度 | 輪廓 | ≤±0.07%f.s.(95mm測桿) |
粗糙度 | ≤±(12nm+3%) |
輪廓測量：各種類型工件表面的線要素逐步顯現，點要素、點與點的距離引領、線與線的距離傳遞、各要素的位置度包括距離、平行度勞動精神、垂直度開展攻關合作、角度、槽深預下達、槽寬的有效手段、半徑，可進行直線度分析方案、凸度分析關鍵技術。
輪廓分析：Pa、Pt深入、Pp技術研究、Pv、Pz開展研究、Pq姿勢、Psm、Psk、Pku綠色化、Pmr
粗糙度測量：Ra不同需求、Rp、Rv保持穩定、Rz總之、Rz（jis）、R3z支撐作用、RzDIN研學體驗、Rzj、Rmax效高性、Rc產能提升、Rt、Rq節點、Rsk通過活化、Rku、Rsm的特點、Rs健康發展、R△q、Rk大數據、Rpk長效機製、Rvk、Mr1數字技術、Mr2奮戰不懈、Rmr
波紋度參數(shù)：Wa、Wt措施、Wp大大縮短、Wv、Wz緊密相關、Wq更默契了、Wsm、Wsk培訓、Wku不合理波動、Wmr
