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HGK系列 真空管式氣氛爐(1600℃ ) 1600℃真空管式氣氛爐

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HGK1600℃真空管式氣氛爐的詳細資料: 這款CVD系統(tǒng)集真空管式爐,多通道氣路系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成深刻內涵,可根據(jù)用戶需要設(shè)計生產(chǎn)(有雙溫區(qū)傳遞、三溫區(qū)、多溫區(qū))深入闡釋,可預抽真空(有高真空相關性、低真空),通多種氣氛(供氣系統(tǒng)有質(zhì)子流量器和浮子流量控制器)

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HGK1600℃真空管式氣氛爐的詳細資料:
這款CVD系統(tǒng)集真空管式爐物聯與互聯,多通道氣路系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成穩定,可根據(jù)用戶需要設(shè)計生產(chǎn)(有雙溫區(qū)、三溫區(qū)紮實、多溫區(qū))效高化,可預抽真空(有高真空、低真空)投入力度,通多種氣氛(供氣系統(tǒng)有質(zhì)子流量器和浮子流量控制器)創造。性能可靠∝暙I法治?刂齐娐愤x用模糊PID程控技術(shù)設備製造,具有控溫精度高,溫沖幅度小攻堅克難,性能可靠管理,簡單易操作等特點。CVD生長系統(tǒng)適用于CVD工藝流程,如碳化硅鍍膜合作、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長助力各業、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)等實驗極致用戶體驗。
高真空管式爐
爐管尺寸
外徑Φ60×1000mm,Φ80×1000mm,Φ100×1000mm
極限溫度
1600 ℃
工作溫度
800 -1500 ℃
溫度控制器
PID自動控制 晶閘管(可控硅)輸出功率, 50段可編程控制器
升降溫速率
1400℃以下≤10℃/min應用,1400℃到1600℃≤5℃/min
加熱區(qū)
360mm
恒溫區(qū)
150mm
溫度精度
±1 ℃
電源
單相220V,交流50Hz
多通道流量計控制系統(tǒng)
標準量程
100建議,200 ,500相貫通,1000SCCM不斷發展; (以氮氣標定,除以上標準外量程可選)
準確度
±1.5%
工作壓差范圍
0.01~0.05 MPa
壓力
0.02MPa
接頭類型
Φ6雙卡套不銹鋼接頭
高真空系統(tǒng)
泵體積流量N2
33 L/S
壓縮比
10:11
實驗真空值
6.7*10-3Pa(8.0*10-4Pa)
功率消耗
140W
啟動時間
2min
電源要求:
185-265VAC

注:A代表可程式自動化方案,本公司可定制各種CVD系統(tǒng)緊密協作。


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