一勃勃生機、簡介
1.1 概要
真空等離子清洗機(Plasma cleaner)，氣體通過激勵電源離化成等離子態(tài)極致用戶體驗，等離子體作用于產(chǎn)品表面提供有力支撐，清洗產(chǎn)品表面污染物，提高表面活性建議，增強附著性能品率。等離子清洗是一種新型的、環(huán)保不斷發展、高效積極影響、穩(wěn)定的表面處理方式。
1.2 產(chǎn)品特點
u 產(chǎn)品放置治具靈活多變緊密協作，可適應(yīng)不規(guī)則的產(chǎn)品
u 水平電極設(shè)計越來越重要，可滿足軟性產(chǎn)品處理需求。
u 低耗能、耗氣產(chǎn)品醒悟。
u 便捷的收放板方式
u 真空系統(tǒng)集成數據顯示，占地面積小
u 合理的等離子反應(yīng)空間，使處理更均勻
u 集成的控制系統(tǒng)設(shè)計也逐步提升，使操作更方便
1.3行業(yè)應(yīng)用
u 手機行業(yè)：TP記得牢、中框、后蓋表面清洗活化
u PCB/FPC行業(yè)：孔內(nèi)鉆污及表面清潔認為、Coverlay表面粗化及清潔
u 半導(dǎo)體行業(yè)：半導(dǎo)體封裝行業分類、攝像頭模組、LED封裝提高鍛煉、BGA封裝、Wire Bond前處理
u 陶瓷：封裝凝聚力量、點膠前處理
u 表面粗化蝕刻：PI表面粗化有所提升、PPS蝕刻、半導(dǎo)體硅片PN結(jié)去除新的力量、ITO膜蝕刻
u 塑膠材料：Teflon特氟龍表面活化先進水平、ABS表面活化、以及其他塑料材質(zhì)清洗活化
u ITO涂覆前表面清洗
二全面展示、技術(shù)規(guī)格
2.1設(shè)備規(guī)格
電源系統(tǒng) |
| 射頻電源 | 中頻電源 |
功率 | 0~1000W | 0~2000W |
頻率 | 13.56MHz | 40KHz |
真空系統(tǒng) | 泵組 | 羅茨泵+單級旋片泵 |
真空管路 | 全不銹鋼管路重要平臺，以及高強度真空波紋管 |
材質(zhì) | 鋁合金（可定制不銹鋼腔體） |
厚度 | 25mm |
密封性 | 級焊接密封 |
腔體內(nèi)部尺寸 | 590（W）*600(D)*660(H)mm |
電極板有效尺寸 | 575×510mm（寬×深） |
可用空間間距 | 34mm |
電極板布置方式 | 水平布置，可活動抽取 |
工作托盤 | 標(biāo)配一套核心技術，材質(zhì)可選配(鋁材應用提升、鋼絲網(wǎng)） |
工作空間 | 8層 |
氣體系統(tǒng) | 流量范圍 | 0~300SCCM |
工藝氣體氣路 | 標(biāo)配兩路，可定制（氬氣創造性、氧氣發展的關鍵、氮氣、氫氣規模設備、四氟化碳） |
控制系統(tǒng) | 系統(tǒng)控制 | PLC |
交付方式 | 7寸觸控屏幕 |
其它參數(shù) | 外形尺寸 | 1050×1750×1050mm（寬×高×深） |
重量 | 350KG |
設(shè)備外觀顏色 | 銀灰色 |
2.2廠務(wù)規(guī)格要求
廠務(wù)規(guī)格要求 |
交流電源規(guī)格 | 電源：AC380V真諦所在，50/60Hz，5線競爭力，30A |
廠務(wù)排氣 | 流量：2.0 m3/min |
廠務(wù)工作氣體要求 | 流量：1~10 L/min 壓力：3~7 kg/cm2 管徑：6×4 mm 材質(zhì)：PU管 純度：99.99%以上 |
廠務(wù)壓縮空氣要求 | 流量：1~10 L/min 壓力：3~7 kg/cm2 管徑：8×5 mm 材質(zhì)：PU管 露點：-40℃以下 Particle＞0.3μm：10Pcs/ft3 |
2.3 一般規(guī)格
一般規(guī)格 |
危險標(biāo)識 | 高壓危險標(biāo)識 |
使用環(huán)境 | 溫度：15~30℃ 濕度：30~70% |
其他注意事項 | 不可有可燃性氣體充分，腐蝕性氣體，爆炸或反應(yīng)性粉塵 氣瓶需固定 |
