MicroXAM-800 光學(xué)輪廓儀
MicroXAM-800是一款基于白光干涉儀的光學(xué)輪廓儀，采用相位掃描干涉技術(shù)（PSI）對納米級(jí)特征進(jìn)行測量建設應用，以及采用垂直掃描干涉技術(shù)（VSI）對亞微米至毫米級(jí)特征進(jìn)行測量十大行動。 MicroXAM-800的程序設(shè)置簡單靈活，可以進(jìn)行單次掃描或多點(diǎn)自動(dòng)測量背景下，適用于研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)境綜合措施。
產(chǎn)品描述：
MicroXAM-800光學(xué)輪廓儀是一種非接觸式3D表面形貌測量系統(tǒng)。MicroXAM的白光干涉儀可以埃級(jí)分辨率對表面進(jìn)行高分辨率測量自然條件。 該系統(tǒng)支持相位和垂直掃描干涉測量設計標準，兩者都是傳統(tǒng)的相干掃描干涉技術(shù)（CSI）。MicroXAM進(jìn)一步擴(kuò)展了這些技術(shù)互動互補，它采用SMART Acquire為新手用戶簡化了程序設(shè)置意料之外，并且采用z-stitching干涉技術(shù)可以對大臺(tái)階高度進(jìn)行高速測量形式。
MicroXAM測量技術(shù)的優(yōu)勢在于測量的垂直分辨率與物鏡的數(shù)值孔徑無關(guān)數字化，因而能夠在大視野范圍內(nèi)進(jìn)行高分辨率測量改革創新。測量區(qū)域可以通過將多個(gè)視場拼接為同一個(gè)測量結(jié)果而進(jìn)一步增加取得顯著成效。 MicroXAM的用戶界面創(chuàng)新而簡單不容忽視，適用于從研發(fā)到生產(chǎn)的各種工作環(huán)境。
主要功能：
針對納米級(jí)到毫米級(jí)特征的相位和垂直掃描干涉測量
SMART Acquire簡化了采集模式并采用已知的程序設(shè)置的測量范圍輸入
Z-stitching干涉技術(shù)采集模式搶抓機遇，可用于單次掃描以及編譯多個(gè)縱向(z)距離很大的表面
XY-stitching可以將大于單個(gè)視野的連續(xù)樣本區(qū)域拼接成單次掃描
使用腳本簡化復(fù)雜測量和工作流程分析的創(chuàng)建全面闡釋，實(shí)現(xiàn)了測量位置引人註目、調(diào)平發展需要、過濾和參數(shù)計(jì)算的靈活性
利用已知技術(shù)顯示，從其他探針和光學(xué)輪廓儀轉(zhuǎn)移算法
主要應(yīng)用：
